El sensor semiconductor se refiere a un sensor fabricado utilizando diversas características físicas, químicas y biológicas de materiales semiconductores. La mayoría de los materiales semiconductores utilizados son silicio, así como compuestos de elementos III-V y II-VI. Los investigadores utilizaron el excelente rendimiento y la disponibilidad de las obleas de SiC para desarrollar un sensor semiconductor basado en SiC adecuado para entornos hostiles. Los sensores basados en semiconductores de SiC tienen una excelente banda prohibida grande, que puede eliminar las fugas de portadores minoritarios inducidas por el calor y funcionar a temperaturas más altas. PAM-XIAMEN puede proporcionar personalizadoCrecimiento epitaxial de SiCpara preparar sensores semiconductores (por ejemplo, sensor de van der Pauw), con estructuras epitaxiales específicas como:
1. Crecimiento de epitaxia de SiC para el sensor Van Der Pauw
| Capa Epi | Espesor | dopante |
| epicapa tipo p | 1um | Al:1018cm-3 |
| capa de buffer tipo n | 1um | N:1018cm-3 |
| n tipo 4H-SiC (0001) Sustrato |
2. Aplicaciones de sensores semiconductores de SiC
El sensor semiconductor de película gruesa de SiC puede compensar los defectos de rendimiento del sensor basado en Si en entornos hostiles como alta temperatura y alta presión, teniendo así un espacio de aplicación más amplio. Los detalles son los siguientes:
1) Los sensores de alta temperatura de SiC, debido a su amplio rango de medición de temperatura (0-500 ℃) y su facilidad de integración, pueden usarse ampliamente para el monitoreo de temperatura en la industria de procesamiento, la industria mecánica y la industria petroquímica, y el control de temperatura en electrodomésticos. y la industria alimentaria, y monitoreo de temperaturas críticas en las industrias aeroespacial y automotriz;
2) Los sensores de presión de alta temperatura de SiC tienen amplias perspectivas de aplicación en aplicaciones civiles debido a su resistencia a altas temperaturas y fuertes radiaciones. Los sensores de presión de SiC se utilizan principalmente para medir la presión en calderas, tuberías, recipientes de reacción de alta temperatura, diversas cámaras de motores y pozos de petróleo;
3) Los sensores de gas SiC, especialmente los sensores capacitivos, pueden funcionar a temperaturas de hasta 1000 ℃ y tienen un tiempo de respuesta de milisegundos. En la actualidad, los sensores de gas SiC han logrado un funcionamiento normal a altas temperaturas de 500 ℃, cumpliendo básicamente con los requisitos de aplicaciones de alta temperatura como el monitoreo de motores de combustión interna, las emisiones de escape de automóviles y el diagnóstico de gases de escape de motores a reacción de naves espaciales.
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