تتوفر رقاقة كربيد السيليكون (SiC) ، لمزيد من المعلومات يرجى النقر فوقhttps://www.powerwaywafer.com/sic-wafer. يحدد أداء تقطيع رقاقة SiC مستوى المعالجة للترقيق والتلميع اللاحقين. يكون التقطيع إلى شرائح عرضة للتشقق على سطح وتحت سطح رقاقة SiC ، مما يزيد من معدل تجزئة الرقاقة وتكلفة تصنيعها. لذلك ، فإن التحكم في تلف الشقوق على سطح رقاقة SiC له أهمية كبيرة لتعزيز تطوير تكنولوجيا تصنيع جهاز كربيد السيليكون.

1. العوامل التي تؤثر على جودة تقطيع رقاقة SiC

تتأثر جودة التقطيع من كربيد السيليكون بالعوامل التالية:

1) معلمات عملية النشر ؛

2) حجم الجسيمات الكاشطة المدمجة ؛

3) حركة تغذية الشغل ؛

4) التحكم غير الصحيح في سرعة سلك المنشار.

قد تتسبب جميع العوامل في تلف الشقوق السطحية لشريحة SiC أثناء عملية تقطيع الويفر. ويرتبط تلف الكراك السطحي ارتباطًا وثيقًا بجودة الشريحة. قد ينتج عن تقطيع سبيكة 4H-SiC تلف تشقق السطح ، والذي ينقسم بشكل أساسي إلى تلف جانبي تحت السطح وضرر متوسط ​​للشق ، كما هو موضح في الشكل أدناه. بينما يؤدي تلف الكراك إلى زيادة التكلفة في المعالجة اللاحقة ، فمن السهل زيادة التوسع وتسبب كسر رقاقة SiC.

التين. أضرار التشققات السطحية لرقائق السليكون المنشار

النمو الفوقي على ركيزة كربيد السيليكون وعملية تصنيع الجهاز وأداء الجهاز كلها مرتبطة بالتوجه البلوري. من أجل تجنب التشققات الهشة في الرقاقات الناتجة عن حساسية الاتجاه أثناء تقطيع السبيكة ، يجب إجراء اكتشاف اتجاه الكريستال قبل تقطيع سبائك كربيد السيليكون.

2. حلول لضمان جودة شرائح بسكويت الويفر

لضمان جودة شرائح SiC ، نوصيك بالحلول التالية:

أولاً ، تُزرع سبائك SiC بشكل عام على مستوى SiC {0001} ، ويمكن للقطع على طول المستوى البلوري SiC الموازي لاتجاه نمو السبيكة أن يقلل بشكل فعال من كثافة خلع المسمار اللولبي على سطح الشريحة ويحسن جودة الشريحة.

بعد ذلك ، يعد التحكم في معلمات عملية النشر أثناء التقطيع أمرًا بالغ الأهمية أيضًا لجودة التقطيع. يمكن أن يؤدي تقليل معدل التغذية وقوة التغذية إلى تقليل إجهاد الضغط الطبيعي للحبوب الكاشطة ، وزيادة سرعة سلك المنشار يمكن أن يقلل من إجهاد الضغط العرضي للحبوب الكاشطة ، ويقلل من تآكل سلك المنشار والطلاء والسفك من الحبوب الكاشطة في نطاق صغير. ومع ذلك ، من الضروري النظر بشكل شامل في درجة تلف سلك المنشار وكفاءة النشر.

بالإضافة إلى ذلك ، من الضروري الحفاظ على سائل تبريد كاف وموحد لتقليل الإجهاد الحراري المتبقي ، وتقليل اهتزاز سلك المنشار ، وتجنب عدم استقرار مجال الضغط الكاشطة.

لمزيد من المعلومات ، يرجى الاتصال بنا على البريد الإلكتروني على victorchan@powerwaywafer.com و powerwaymaterial@gmail.com.