كيف تصنع رقاقة كربيد السيليكون (SiC)؟ بشكل عام ، الرقائق عبارة عن منتجات نصف منتهية تم قطعها من الرقائق.يمكن أن تقدم PAM-XIAMEN رقائق SiC لصنع الرقائق ، المزيد من المواصفات يرجى الرجوع إليهاhttps://www.powerwaywafer.com/sic-wafer. كل رقاقة تدمج مئات الرقائق ، وتتكون كل شريحة من آلاف الخلايا. إذن ، كيف تصنع خلية؟

الخطوة الأولى: قناع الحقن. يتم تنظيف الرقاقة في البداية ، ويتم ترسيب طبقة من فيلم أكسيد السيليكون ، ثم يتم تشكيل نمط مقاوم للضوء من خلال الغراء المنتظم ، والتعريض ، والتطوير. أخيرًا يتم نقل النمط إلى قناع النقش من خلال عملية النقش.

الخطوة الثانية: زرع الأيونات. ضع الرقاقة المقنعة في آلة زرع أيونات وزرع أيونات عالية الطاقة. بعد ذلك ، يُزال القناع ويُلدن لتنشيط الأيونات المزروعة.

الخطوة الثالثة: عمل الشبكة. يتم ترسيب طبقة أكسيد البوابة وطبقة إلكترود البوابة بالتتابع على الرقاقة لتشكيل هيكل تحكم على مستوى البوابة.

الخطوة الرابعة: عمل طبقة التخميل. يتم ترسيب طبقة عازلة ذات خصائص عزل جيدة لمنع الانهيار بين الأقطاب الكهربائية.

الخطوة الخامسة: عمل أقطاب كهربائية لمصدر التصريف. يتم فتح الثقوب على طبقة التخميل ، ويتم رش المعدن لتشكيل أقطاب كهربائية لمصدر التصريف.

عندما يتم تطبيق جهد موجب بين قطب مصدر التصريف وإلكترود مصدر البوابة ، تفتح القناة ، وتتدفق الإلكترونات من المصدر إلى الصرف ، ويتدفق التيار من الصرف إلى المصدر.

تم تصنيع جهاز طاقة أساسي (خلية).

يمكن لرقائق SiC تحسين كفاءة العمل بشكل فعال ، وتقليل فقد الطاقة ، وتقليل انبعاثات الكربون ، وتحسين موثوقية النظام ، وتقليل الحجم وتوفير المساحة.

الرجاء الضغط على الرابط لمشاهدة مقطع فيديو قصير عن صنع رقاقة SiC:https://youtu.be/8EyJApHZBJ8

لمزيد من المعلومات ، يرجى الاتصال بنا على البريد الإلكتروني على victorchan@powerwaywafer.com و powerwaymaterial@gmail.com.