炭化ケイ素（SiC）チップはどのように作られていますか？

炭化ケイ素（SiC）チップはどのように作られていますか？

炭化ケイ素（SiC）チップはどのように作られていますか？ 一般的に、チップはウェーハから切り出された半製品です。PAM-XIAMENは、チップ製造用のSiCウェーハを提供できます。詳細な仕様については、以下を参照してください。https://www.powerwaywafer.com/sic-wafer。 各ウェーハは数百のチップを統合し、各チップは数千のセルで構成されています。 それで、どのように細胞を作るのですか？

最初のステップ：注射マスク。 ウェーハは最初に洗浄され、酸化シリコン膜の層が堆積され、次にフォトレジストパターンが均一な接着剤、露光、現像によって形成されます。 最後に、パターンはエッチングプロセスを通じてエッチングマスクに転写されます。

2番目のステップ：イオン注入。 マスクされたウェーハをイオン注入装置に入れ、高エネルギーイオンを注入します。 次に、マスクを取り外してアニールし、注入されたイオンを活性化します。

3番目のステップ：グリッドを作成します。 ゲート酸化物層とゲート電極層がウェーハ上に順次堆積されて、ゲートレベルの制御構造を形成する。

4番目のステップ：パッシベーションレイヤーを作成します。 電極間の破壊を防ぐために、良好な絶縁特性を備えた誘電体層が堆積されます。

5番目のステップ：ドレイン-ソース電極の作成。 パッシベーション層に穴を開け、金属をスパッタしてドレイン-ソース電極を形成します。

ドレイン-ソース電極とゲート-ソース電極の間に正の電圧が印加されると、チャネルが開き、電子がソースからドレインに流れ、電流がドレインからソースに流れます。

基本的なパワーデバイス（セル）が製作されました。

SiCチップは、作業効率の向上、エネルギー損失の削減、炭素排出量の削減、システムの信頼性の向上、ボリュームの削減、スペースの節約を効果的に実現できます。

リンクをクリックして、SiCチップの製造に関する短いビデオをご覧ください。https://youtu.be/8EyJApHZBJ8

powerwaywafer

詳細については、メールでお問い合わせください。 victorchan@powerwaywafer.com と powerwaymaterial@gmail.com.

2022-07-27

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