Bolacha de Laser de Cascata Quântica

Bolacha de Laser de Cascata Quântica

Os materiais heteroepitaxiais usados ​​​​para fazer laser em cascata quântica (QCL) são principalmente sistema de material GaInAs / AlInAs baseado em InP, sistema de material GaAs / AlGaAs baseado em GaAs e sistema de material antimoneto.PAM-XIAMENpode fornecer filme fino de lasers em cascata quântica baseados em InP, como segue:

wafer de laser em cascata quântica

1. InGaAs/InAlAs/InP para diodo laser em cascata quântica

PAM210906 – QCL

Materiais heteroepitaxiais InP nº 1 para laser em cascata quântica com faixa espectral de 4-5μm

Camada No. Material Grupo iteração Espessura, Å Nível de doping
Si (cm-3)
27 Em0.53Ga0.47Como 2000
26 InP
25 InP
24 EmXXGaXXComo
23 EmXXAlXXComo
22 EmXXGaXX1As
21 EmXXAlXXComo
20 Em0.669Ga0.331Como
19 EmXXAlXXComo
18 EmXXGaXXComo
17 EmXXAlXXComo
16 EmXXGaXXComo
15 EmXXAlXXComo
14 EmXXGaXXComo
13 EmXXAlXXComo
12 EmXXGaXXComo
11 EmXXAlXXComo
10 EmXXGaXXComo
9 EmXXAlXXComo
8 EmXXGaXXComo
7 EmXXAlXXComo
6 EmXXGaXXComo
5 EmXXAlXXComo
4 EmXXGaXXComo
3 EmXXAlXXComo
2 InP
1 Substrato InP 350um 3x1017

 

Heteroepitaxia InGaAs/InAlAs/InP nº 2 para QCL com faixa espectral de 7-9μm

Camada No. Material Grupo iteração Espessura, Å Nível de doping

Si (cm-3)

25 EmXXGaXXComo 200
24 EmXXGaXXComo 1
23 InP
22 EmXXGaXXComo
21 AlXXEmXXComo
20 EmXXGaXXComo
19 AlXXEmXXComo
18 EmXXGaXXComo
17 AlXXEmXXComo
16 EmXXGaXXComo
15 AlXXEmXXComo
14 EmXXGaXXComo
13 AlXXEmXXComo
12 EmXXGaXXComo
11 AlXXEmXXComo
10 EmXXGaXXComo
9 AlXXEmXXComo
8 EmXXGaXXComo
7 AlXXEmXXComo
6 EmXXGaXXComo
5 AlXXEmXXComo
4 EmXXGaXXComo
3 Al0.48Em0.52Como
2 EmXXGaXXComo 5×1016
1 Substrato InP 1-3×1017

 

Crescimento heteroepitaxial de InAlAs/InGaAs nº 3 para QCL com faixa espectral de 7-9μm

Camada No. Material grupo iteração Espessura, Å Nível de doping
Si (cm-3)
79 EmXXGaXXComo 1
78 InP 2000
77 InP 3
76 InP 2×1016
75 AlXXEmXXComo
74 EmXXGaXXComo
73 AlXXEmXXComo
72 AlXXEmXXComo
71 EmXXGaXXComo
70 AlXXEmXXComo
69 EmXXGaXXComo
68 AlXXEmXXComo
67 EmXXGaXXComo
66 AlXXEmXXComo
65 EmXXGaXXComo
64 AlXXEmXXComo
63 EmXXGaXXComo
62 AlXXEmXXComo
61 EmXXGaXXComo
60 AlXXEmXXComo
59 EmXXGaXXComo
58 AlXXEmXXComo
57 EmXXGaXXComo
56 AlXXEmXXComo
55 EmXXGaXXComo
54 EmXXGaXXComo
53 AlXXEmXXComo
52 EmXXGaXXComo
51 AlXXEmXXComo
50 EmXXGaXXComo
49 AlXXEmXXComo
48 EmXXGaXXComo
47 AlXXEmXXComo
46 EmXXGaXXComo
45 AlXXEmXXComo
44 EmXXGaXXComo
43 AlXXEmXXComo
42 EmXXGaXXComo
41 AlXXEmXXComo
40 EmXXGaXXComo
39 AlXXEmXXComo
38 EmXXGaXXComo
37 AlXXEmXXComo
36 EmXXGaXXComo
35 AlXXEmXXComo
34 EmXXGaXXComo
33 AlXXEmXXComo
32 EmXXGaXXComo
31 AlXXEmXXComo
30 EmXXGaXXComo
29 AlXXEmXXComo
28 EmXXGaXXComo
27 AlXXEmXXComo
26 EmXXGaXXComo
25 AlXXEmXXComo
24 EmXXGaXXComo 1
23 AlXXEmXXComo
22 EmXXGaXXComo
21 AlXXEmXXComo
20 EmXXGaXXComo
19 AlXXEmXXComo
18 EmXXGaXXComo
17 AlXXEmXXComo
16 EmXXGaXXComo
15 AlXXEmXXComo
14 EmXXGaXXComo
13 AlXXEmXXComo
12 EmXXGaXXComo
11 AlXXEmXXComo
10 EmXXGaXXComo
9 AlXXEmXXComo
8 EmXXGaXXComo
7 AlXXEmXXComo
6 EmXXGaXXComo
5 AlXXEmXXComo
4 EmXXGaXXComo
3 Al0.48Em0.52Como
2 InP
1 Substrato InP 350 μm 3x1018

 

2. Por que fabricar laser QCL com base em materiais hetero-epitaxiais InGaAs/AlInAs?

As razões pelas quais o uso de materiais heteroepitaxiais InGaAs/InAlAs para fabricar QCL são principalmente:

1) O ganho do laser do QCL é proporcional a (me)– 3/2. Como a massa efetiva de elétrons me em InGaAs é menor que a massa efetiva de elétrons em GaAs, o ganho do sistema de material heteroepitaxial InGaAs / InAlAs é maior que o do sistema de material GaAs / AlGaAs;

2) A ordem da banda de condução do sistema de materiais heteroepitaxiais InGaAs / InAlAs é relativamente grande, mostrada como na Figura 1, e a lacuna de energia entre os estados de alta energia das transições do laser é grande, tornando o laser semicondutor de cascata quântica mais fácil de obter o laser. Além disso, existem fatores como perda do guia de ondas e eficiência de dissipação de calor.

Constantes de rede (a) e intervalos de bandas (b) do material heteroepitaxial InGaAs/InAlAs

Fig. 1 Constantes de rede (a) e intervalos de bandas (b) do material heteroepitaxial InGaAs/InAlAs

3. O que é um laser em cascata quântica?

QCL é uma fonte de luz monopolo de banda infravermelha média baseada na transição de elétrons entre subbandas.

Como funciona um laser em cascata quântica? O princípio de funcionamento é diferente daquele dos lasers semicondutores convencionais. Seu esquema de laser consiste em usar os estados eletrônicos separados causados ​​​​pelo efeito de confinamento quântico em uma camada fina de heteroestrutura semicondutora perpendicular à espessura do nível nanométrico e gerar inversão do número de partículas entre esses estados excitados. A região ativa do laser é composta de concatenação de vários estágios de poços quânticos acoplados (geralmente mais de 500 camadas) para obter saída de múltiplos fótons de injeção de elétron único. A característica da impressão digital do QCL é que o comprimento de onda operacional não está diretamente relacionado ao gap dos materiais usados, mas apenas determinado pelo espaçamento de sub-bandas dos poços quânticos acoplados, de modo que o comprimento de onda do laser em cascata quântica pode ser adaptado em uma grande faixa .

Atualmente, as aplicações do laser em cascata quântica são principalmente na detecção de gases, contramedidas infravermelhas e comunicação terahertz.

powerwaywafer

Para mais informações, por favor contacte-nos e-mail emvictorchan@powerwaywafer.com e powerwaymaterial@gmail.com.

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