Sensor semicondutor refere-se a um sensor feito utilizando várias características físicas, químicas e biológicas de materiais semicondutores. A maioria dos materiais semicondutores utilizados são silício, bem como compostos de elementos III-V e II-VI. Os pesquisadores usaram o excelente desempenho e disponibilidade dos wafers de SiC para desenvolver sensores semicondutores baseados em SiC adequados para ambientes agressivos. Os sensores baseados em semicondutores SiC possuem excelente bandgap grande, que pode eliminar vazamentos de portadores minoritários induzidos pelo calor e operar em temperaturas mais altas. PAM-XIAMEN pode fornecer personalizadoCrescimento epitaxial de SiCpara preparação de sensores semicondutores (ex. sensor van der Pauw), com estruturas epitaxiais específicas como:
1. Crescimento Epitaxy SiC para Sensor Van Der Pauw
| Epi Layer | Espessura | dopante |
| epilayer tipo p | 1um | Al:1018cm-3 |
| camada de buffer tipo n | 1um | N:1018cm-3 |
| n tipo 4H-SiC (0001) Substrato |
2. Aplicações de sensores semicondutores SiC
O sensor semicondutor de filme espesso de SiC pode compensar os defeitos de desempenho do sensor baseado em Si em ambientes agressivos, como alta temperatura e alta pressão, tendo assim um espaço de aplicação mais amplo. Os detalhes são os seguintes:
1) Sensores de alta temperatura SiC, devido à sua grande faixa de medição de temperatura (0-500 ℃) e facilidade de integração, podem ser amplamente utilizados para monitoramento de temperatura na indústria de processamento, indústria mecânica e indústria petroquímica, controle de temperatura em eletrodomésticos e indústria alimentícia, e monitoramento de temperatura crítica nas indústrias aeroespacial e automotiva;
2) Os sensores de pressão de alta temperatura SiC têm amplas perspectivas de aplicação em aplicações civis devido à sua resistência a altas temperaturas e forte radiação. Os sensores de pressão SiC são usados principalmente para medição de pressão em caldeiras, oleodutos, vasos de reação de alta temperatura, várias câmaras de motor e poços de petróleo;
3) Sensores de gás SiC, especialmente sensores capacitivos, podem operar em temperaturas de até 1000 ℃ e ter um tempo de resposta de milissegundos. Atualmente, os sensores de gás SiC alcançaram operação normal em altas temperaturas de 500 ℃, atendendo basicamente aos requisitos de aplicações de alta temperatura, como monitoramento de motores de combustão interna, emissões de escapamentos automotivos e diagnóstico de escapamentos de motores a jato de naves espaciais.
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