Enjeux liés à la plaquette épitaxiale de plus grand diamètre Afin d'établir la plaquette épitaxiale comme substrat principal pour les dispositifs semi-conducteurs produits sur des plaques épitaxiales de grand diamètre supérieur à 300 mm, la plaquette épitaxiale doit satisfaire à des exigences strictes en termes de qualité et de coûts. Avant de procéder à l'épitaxie de 400 mm de diamètre, [...]
| Biscuit | Durée | Description |
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