Procédé Wafer:
Croissance cristal Wafer
Dans la fabrication de plaquettes de cristal, la première étape critique est la croissance du monocristal. Utilisation de polycristal comme matière première avec un petit pour cent de dopant, tel que l'azote, le vanadium, le bore ou le phosphore. (Ce dopant déterminer les propriétés électriques, ou de la résistivité des plaquettes, qui est découpé à partir du cristal), faire croître des lingots à travers four de croissance scellée.
découpage de gaufrette
La semence en bout (en haut) et l'extrémité effilée (le fond) des lingots sont enlevés, le lingot est coupé en sections plus courtes, afin d'optimiser l'opération de découpage qui va suivre ultérieurement. Ensuite, chaque section est broyé au diamètre spécifié sur un cristal de coupe mécanique lathe.finally en plaquettes.
wafer polissage
polissage de plaquettes est nécessaire pour la fabrication de plaquettes de l'étape de devices.First à semi-conducteur est clapotis rugueuse par polissage mécanique, deuxième étape est polissage mince par CMP (polissage chimico-mécanique), pour améliorer la planéité de la plaquette et la rugosité de surface, rendre sa surface pour obtenir la précision de la tranche épitaxiale, enfin plaquette epi prêt devient.
Nettoyage wafer
Lors d'un polissage, les plaquettes sont déjà en procèdent d'une série de nettoyage systems.But avant que les plaquettes sont emballés dans des conteneurs, ils doivent encore inspecter les plaquettes pour voir s'il y a stratches, les taches et les inclusions.
wafer épitaxie
L'épitaxie est un processus qui pousse une couche mince la surface polie du substrat de tranche par le réacteur, et devient ensuite tranches épitaxiées, qui fournissent à nos clients de construire des dispositifs semi-conducteurs composés dans le monde.
La croissance et la technologie Epitaxie
Hydride Vapor Phase Epitaxy (HVPE) Technologie
Cultivées par le procédé HVPE et la technologie pour la production de semi-conducteurs composés tels que GaN, AlN, AlGaN et. Ils sont utilisés dans une large applications: éclairage à semi-conducteurs, l'optoélectronique courte longueur d'onde et le dispositif de puissance RF.
Si vous avez besoin de plus amples informations, s'il vous plaît voir: https://www.powerwaywafer.com/GaN-Templates.html
Épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) Technologie
MBE est une méthode de fixer des couches de matériaux ayant des épaisseurs atomiques sur des substrats. Ceci est réalisé en créant un « faisceau moléculaire » d'un matériau qui vient frapper sur le substrat. Les résultantes « » ont un superréseaux certain nombre d'utilisations technologiques importantes, y compris des lasers à puits quantiques pour les systèmes et semi-conductrices magnétorésistance géant pour les systèmes métalliques.
Organic Chemical Vapor Deposition métallique (MOCVD) Technologie
Organic Chemical Vapor Deposition métallique (MOCVD) ou de vapeur Metal-Organic épitaxie en phase (MOVPE) est un procédé de dépôt chimique en phase vapeur pour épitaxie par dépôt d'atomes sur un substrat de plaquette.
Si vous avez besoin de plus amples informations, s'il vous plaît voir: https://www.powerwaywafer.com/GaAs-Epiwafer.html
Et maintenant, nous donnons une brève introduction de MBE et MOCVD.
1: MBE
MBE est une méthode de fixer des couches de matériaux ayant des épaisseurs atomiques sur des substrats. Ceci est réalisé en créant un « faisceau moléculaire » d'un matériau qui vient frapper sur le substrat. Les résultantes « » ont un superréseaux certain nombre d'utilisations technologiques importantes, y compris des lasers à puits quantiques pour les systèmes et semi-conductrices magnétorésistance géant pour les systèmes métalliques.
Dans l'industrie des semi-conducteurs composés, en utilisant la technologie MBE, nous cultivons des couches épitaxiales sur GaAs et d'autres substrats semi-conducteurs composés, et offrent des tranches de epi et de développer des substrats multicouches pour des micro-ondes et les applications RF.
1-1: Caractéristiques des épitaxie par faisceau moléculaire:
faible taux de croissance d'environ 1 monocouche (plan réticulaire) par seconde
température de croissance faible (~ 550 ° C pour GaAs)
surface lisse de croissance avec des marches de hauteur atomique et de grandes terrasses plates
Un contrôle précis de la composition et de la morphologie de surface
brusque variation de la composition chimique aux interfaces
le contrôle in situ de la croissance cristalline au niveau atomique
1-2: Avantages de MBE Technique:
environnement de croissance propre
Le contrôle précis des flux de faisceau
et l'état de croissance
Mise en œuvre facile d'in situ
instruments de diagnostic
Compatibilité avec les autres sous vide poussé
les méthodes de traitement en couche mince (métal
évaporation, usinage par faisceau d'ions, l'implantation ionique)
1-3: MBE processus:
2: MOCVD
Organic Chemical Vapor Deposition métallique (MOCVD) ou de vapeur Metal-Organic épitaxie en phase (MOVPE) est un procédé de dépôt chimique en phase vapeur pour épitaxie par dépôt d'atomes sur un substrat de plaquette.
Le principe de MOCVD est assez simple: Atomes que vous souhaitez dans votre cristal sont combinées avec des molécules de gaz organiques complexes et passés sur un substrat de plaquette chaude. La chaleur rompt les molécules et les atomes dépôts souhaités sur la surface, couche par couche. En faisant varier la composition du gaz, nous pouvons modifier les propriétés du cristal à l'échelle atomique presque. Il est possible de cultiver des couches semi-conductrices de haute qualité et de la structure cristalline de ces couches est parfaitement alignée avec celle du substrat.