Test Wafer Moniteur Wafer Dummy Wafer
En tant que fabricant de plaquettes factices, PAM-XIAMEN propose des plaquettes factices / plaquettes de test / plaquettes de contrôle en silicone, qui sont utilisées dans un dispositif de production pour améliorer la sécurité au début du processus de production et sont utilisées pour le contrôle de livraison et l'évaluation de la forme du processus. Comme les plaquettes de silicium factices sont souvent utilisées pour des expériences et des tests, leur taille et leur épaisseur sont des facteurs importants dans la plupart des cas. Une plaquette factice de 100 mm, 150 mm, 200 mm ou 300 mm est disponible.
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Description du produit
Test Wafer Moniteur Wafer Dummy Wafer
En tant que fabricant de plaquettes factices, PAM-XIAMEN propose des plaquettes factices / plaquettes de test / plaquettes de contrôle en silicone, qui sont utilisées dans un dispositif de production pour améliorer la sécurité au début du processus de production et sont utilisées pour le contrôle de livraison et l'évaluation de la forme du processus. Comme les plaquettes de silicium factices sont souvent utilisées pour des expériences et des tests, leur taille et leur épaisseur sont des facteurs importants dans la plupart des cas. Une plaquette factice de 100 mm, 150 mm, 200 mm ou 300 mm est disponible.
1. Test Wafer List
1.1 Single Side Polished Test Wafer N Type (200Nos)
| sl | Article | CARACTÉRISTIQUES SCL |
| 1 | méthode de culture | CZ |
| 2 | Diamètre wafer | 150 ± 0,5 mm |
| 3 | Epaisseur wafer | 675 ± 25 um |
| 4 | Orientation Wafer Surface | <100> ± 2 ° |
| 5 | dopant | Phosphore |
| 6 | Densité de Dislocation | Moins de 5000 / cm2 |
| 8 | Résistivité | 4-7Ωcm |
| 9 | Radial Résistivité Variation (max.) | 15% |
| 10 | Platitude | |
| 10a | · BOW (max.) | 60 pm |
| 10b | · TIR (max.) | 6 pm |
| 10c | · TAPER (max.) | 12 um |
| 10d | · WARP (max.) | 60 pm |
| 11 | plat principal | |
| 11a | · Longueur | 57,5 ± 2,5 mm |
| 11b | · Orientation | {110} ± 2 ° selon la norme SEMI |
| 11c | plat secondaire | Selon la norme SEMI |
| 12 | Finition de surface avant | miroir poli |
| 13 | Max. des particules de taille ≥0.3μm | 30 |
| 14 | · Scratches, Haze, Chips Edge, Orange Peel et autres défauts | Néant |
| 15 | Retour Surface | Non endommagé Gravé |
| 16 | Exigence d'emballage | Doit être scellé sous vide dans le 10'environment de classe en packing.Wafers double couche devrait être livré en plaquettes Fluorware ORION deux expéditeurs ou de faire l'équivalent en polypropylène ultra propre |
1.2 Double Side Polished Test Wafer N Type (150 Nos)
| sl | Article | CARACTÉRISTIQUES SCL |
| 1 | méthode de culture | CZ |
| 2 | Diamètre wafer | 150 ± 0,5 mm |
| 3 | Epaisseur wafer | 675 ± 25 um |
| 4 | Orientation Wafer Surface | <100> ± 2 ° |
| 5 | dopant | Phosphore |
| 6 | Densité de Dislocation | Moins de 5000 / cm2 |
| 8 | Résistivité | 4-7Ωcm |
| 9 | Radial Résistivité Variation (max.) | 15% |
| 10 | Platitude | |
| 10a | · BOW (max.) | 60 pm |
| 10b | · TIR (max.) | 6 pm |
| 10c | · TAPER (max.) | 12 um |
| 10d | · WARP (max.) | 60 pm |
| 11 | plat principal | |
| 11a | · Longueur | 57,5 ± 2,5 mm |
| 11b | · Orientation | {110} ± 2 ° selon la norme SEMI |
| 11c | plat secondaire | Selon la norme SEMI |
| 12 | Finition de surface avant | miroir poli |
| 13 | Max. des particules de taille ≥0.3μm | 30 |
| 14 | · Scratches, Haze, Chips Edge, | Néant |
| Peel orange et autres défauts | ||
| 15 | Retour Surface | miroir poli |
| 16 | Exigence d'emballage | Doit être scellé sous vide dans la classe « 10 » |
| environment in double layer packing. | ||
| Wafers should be shipped in Fluorware | ||
| ORION TWO wafer shippers or equivalent | ||
| make made from ultra clean polypropylene |
1.3 Monitor Wafer/dummy Wafer
Moniteur / Dummy plaquette de silicium
| Diamètre wafer | Brillant | Surface wafer | Epaisseur wafer | Résistivité | Particule |
| Orientation | |||||
| 4 " | 1 côté | 100/111 | 250-500μm | 0-100 | 0.2μm≤qty30 |
| 6 " | 1 côté | 100 | 500-675μm | 0-100 | 0.2μm≤qty30 |
| 8 " | 1 côté | 100 | 600-750μm | 0-100 | 0.2μm≤qty30 |
| 12 " | 2 côté | 100 | 650-775μm | 0-100 | 0.09μm≤qty100 |
1.4 REGENERATED 200mm WAFERS
| Article# | PARAMÈTRE | Unités | Valeur | Remarques |
| 1 | Procédé de croissance | CZ | ||
| 2 | Orientation | 1-0-0 | ||
| 3 | Résistivité | Ωм.см | 1-50 | |
| 4 | Type / dopant | р, n / | ||
| Le bore, phosphore | ||||
| 5 | Épaisseur | мкм | 1гр. - 620, | |
| 2гр. - 650 | ||||
| 3гр. - 680 | ||||
| 4гр. - 700 | ||||
| 5гр. - 720 | ||||
| 6 | GBIR (TTV | мкм | 1-3гр. <30, | |
| 4-5гр. <20 | ||||
| 7 | GLFR (TIR | мкм | <10 | |
| 8 | Chaîne | мкм | <60 | |
| 9 | Arc | мкм | <40 | |
| 10 | contamination métallique | 1 / см2 | <3E10 | |
| 11 | surface avant | Brillant | ||
| 12 | surface avant visuelle: | |||
| Haze, Scratches, taches, taches | aucun | |||
| Orange Peel | aucun | |||
| Fissures, Cratères | aucun | |||
| 13 | Front Side DPL: | Nombre de plaquettes ayant une valeur de paramètre indiqué ne doit pas être inférieure à 80% du lot, | ||
| <0,12мкм | <100 | |||
| <0,16мкм | <50 | |||
| <0,20мкм | <20 | |||
| <0,30мкм | <10 |
1.5 Coinroll Silicon Wafer
Spec : 12” , Bare Silicon, Thickness >750um , Notch , Slight scratch and stain that we will process IPA , DI water with Ultra sonic. (PAM171117-SI)
2. Dummy Wafer Definition
Dummy wafer (also called as test wafers) is a Si dummy wafer mainly used for experiment and test and being different from general wafers for product. Accordingly, reclaimed wafers are mostly applied as dummy grade wafers (plaquettes d'essai).
In each process, film thickness, pressure resistance, reflection index and presence of pinball are measured using dummy Si wafer(test wafer). Also, dummy wafers (test wafers) are used for measurement of pattern size, check of defect and so on in lithography.
tranches de moniteur are the bare silicon wafers to be used in the case that an adjustment is required in each production step prior to the actual IC production. For example, when the conditions of each process are set, such as the case of measuring tolerance of device against ( the variation of ) substrate thickness, coinroll silicon wafers for spacer wafers are being used as a substitution of high-standard and high value wafers. Moreover, they are also used for the monitoring purpose in the process together with product wafers. Monitor wafers are necessary wafer materials as important as product prime wafers. They are also called as test wafers together with dummy wafers.
Pour plus de détails du produit ou si vous avez besoin spécifications, s'il vous plaît nous contacter à [email protected] ou [email protected]
gaufrettes-1 de silicium de qualité d'essai
tranches de silicium-2 de qualité de test
tranches de silicium-3 de qualité de test
tranches de silicium-4 de qualité d'essai
gaufrettes-5 de silicium de qualité d'essai
gaufrettes-6 de silicium de qualité d'essai
tranches de silicium-7 de qualité d'essai
gaufrettes-8 de silicium de qualité d'essai
tranches de silicium-9 de qualité d'essai
gaufrettes-10 de silicium de qualité d'essai
gaufrettes-11 de silicium de qualité d'essai
12 "Dummy grade Silicon Wafer épaisseur 700-730um
12 "Dummy grade Silicon Wafer épaisseur 650-700um
12 "Test de qualité Silicon Wafer
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