Test Wafer Moniteur Wafer Dummy Wafer

Test Wafer Moniteur Wafer Dummy Wafer

En tant que fabricant de plaquettes factices, PAM-XIAMEN propose des plaquettes factices / plaquettes de test / plaquettes de contrôle en silicone, qui sont utilisées dans un dispositif de production pour améliorer la sécurité au début du processus de production et sont utilisées pour le contrôle de livraison et l'évaluation de la forme du processus. Comme les plaquettes de silicium factices sont souvent utilisées pour des expériences et des tests, leur taille et leur épaisseur sont des facteurs importants dans la plupart des cas. Une plaquette factice de 100 mm, 150 mm, 200 mm ou 300 mm est disponible.

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Description du produit

Test Wafer Moniteur Wafer Dummy Wafer

En tant que fabricant de plaquettes factices, PAM-XIAMEN propose des plaquettes factices / plaquettes de test / plaquettes de contrôle en silicone, qui sont utilisées dans un dispositif de production pour améliorer la sécurité au début du processus de production et sont utilisées pour le contrôle de livraison et l'évaluation de la forme du processus. Comme les plaquettes de silicium factices sont souvent utilisées pour des expériences et des tests, leur taille et leur épaisseur sont des facteurs importants dans la plupart des cas. Une plaquette factice de 100 mm, 150 mm, 200 mm ou 300 mm est disponible.

 

1. Test Wafer List

1.1 Single Side Polished Test Wafer N Type (200Nos)

sl Article CARACTÉRISTIQUES SCL
1 méthode de culture CZ
2 Diamètre wafer 150 ± 0,5 mm
3 Epaisseur wafer 675 ± 25 um
4 Orientation Wafer Surface <100> ± 2 °
5 dopant Phosphore
6 Densité de Dislocation Moins de 5000 / cm2
8 Résistivité 4-7Ωcm
9 Radial Résistivité Variation (max.) 15%
10 Platitude  
10a · BOW (max.) 60 pm
10b · TIR (max.) 6 pm
10c · TAPER (max.) 12 um
10d · WARP (max.) 60 pm
11 plat principal  
11a · Longueur 57,5 ± 2,5 mm
11b · Orientation {110} ± 2 ° selon la norme SEMI
11c plat secondaire Selon la norme SEMI
12 Finition de surface avant miroir poli
13 Max. des particules de taille ≥0.3μm 30
14 · Scratches, Haze, Chips Edge, Orange Peel et autres défauts Néant
15 Retour Surface Non endommagé Gravé
16 Exigence d'emballage Doit être scellé sous vide dans le 10'environment de classe en packing.Wafers double couche devrait être livré en plaquettes Fluorware ORION deux expéditeurs ou de faire l'équivalent en polypropylène ultra propre

 

1.2 Double Side Polished Test Wafer N Type (150 Nos)

sl Article CARACTÉRISTIQUES SCL
1 méthode de culture CZ
2 Diamètre wafer 150 ± 0,5 mm
3 Epaisseur wafer 675 ± 25 um
4 Orientation Wafer Surface <100> ± 2 °
5 dopant Phosphore
6 Densité de Dislocation Moins de 5000 / cm2
8 Résistivité 4-7Ωcm
9 Radial Résistivité Variation (max.) 15%
10 Platitude  
10a · BOW (max.) 60 pm
10b · TIR (max.) 6 pm
10c · TAPER (max.) 12 um
10d · WARP (max.) 60 pm
11 plat principal  
11a · Longueur 57,5 ± 2,5 mm
11b · Orientation {110} ± 2 ° selon la norme SEMI
11c plat secondaire Selon la norme SEMI
12 Finition de surface avant miroir poli
13 Max. des particules de taille ≥0.3μm 30
14 · Scratches, Haze, Chips Edge, Néant
Peel orange et autres défauts
15 Retour Surface miroir poli
16 Exigence d'emballage Doit être scellé sous vide dans la classe « 10 »
environment in double layer packing.
Wafers should be shipped in Fluorware
ORION TWO wafer shippers or equivalent
make made from ultra clean polypropylene

 

1.3 Monitor Wafer/dummy Wafer

Moniteur / Dummy plaquette de silicium

Diamètre wafer Brillant Surface wafer Epaisseur wafer Résistivité Particule
Orientation
4 " 1 côté 100/111 250-500μm 0-100 0.2μm≤qty30
6 " 1 côté 100 500-675μm 0-100 0.2μm≤qty30
8 " 1 côté 100 600-750μm 0-100 0.2μm≤qty30
12 " 2 côté 100 650-775μm 0-100 0.09μm≤qty100

 

1.4 REGENERATED 200mm WAFERS

Article# PARAMÈTRE Unités Valeur Remarques
1 Procédé de croissance   CZ  
2 Orientation   1-0-0  
3 Résistivité Ωм.см 1-50  
4 Type / dopant   р, n /  
Le bore, phosphore
5 Épaisseur мкм 1гр. - 620,  
2гр. - 650
3гр. - 680
4гр. - 700
5гр. - 720
6 GBIR (TTV мкм 1-3гр. <30,  
4-5гр. <20
7 GLFR (TIR мкм <10  
8 Chaîne мкм <60  
9 Arc мкм <40  
10 contamination métallique 1 / см2 <3E10  
11 surface avant   Brillant  
12 surface avant visuelle:      
Haze, Scratches, taches, taches   aucun
Orange Peel   aucun
Fissures, Cratères   aucun
13 Front Side DPL:     Nombre de plaquettes ayant une valeur de paramètre indiqué ne doit pas être inférieure à 80% du lot,
<0,12мкм   <100
<0,16мкм   <50
<0,20мкм   <20
<0,30мкм   <10

 

1.5 Coinroll Silicon Wafer

 Spec : 12” , Bare Silicon, Thickness >750um , Notch , Slight scratch and stain that we will process IPA , DI water with Ultra sonic. (PAM171117-SI)

2. Dummy Wafer Definition

Dummy wafer (also called as test wafers) is a Si dummy wafer mainly used for experiment and test and being different from general wafers for product. Accordingly, reclaimed wafers are mostly applied as dummy grade wafers (plaquettes d'essai).

In each process, film thickness, pressure resistance, reflection index and presence of pinball are measured using dummy Si wafer(test wafer). Also, dummy wafers (test wafers) are used for measurement of pattern size, check of defect and so on in lithography.

tranches de moniteur are the bare silicon wafers to be used in the case that an adjustment is required in each production step prior to the actual IC production. For example, when the conditions of each process are set, such as the case of measuring tolerance of device against ( the variation of ) substrate thickness, coinroll silicon wafers for spacer wafers are being used as a substitution of high-standard and high value wafers. Moreover, they are also used for the monitoring purpose in the process together with product wafers. Monitor wafers are necessary wafer materials as important as product prime wafers. They are also called as test wafers together with dummy wafers.

Pour plus de détails du produit ou si vous avez besoin spécifications, s'il vous plaît nous contacter à [email protected] ou [email protected]

gaufrettes-1 de silicium de qualité d'essai

tranches de silicium-2 de qualité de test

tranches de silicium-3 de qualité de test

tranches de silicium-4 de qualité d'essai

gaufrettes-5 de silicium de qualité d'essai

gaufrettes-6 de silicium de qualité d'essai

tranches de silicium-7 de qualité d'essai

gaufrettes-8 de silicium de qualité d'essai

tranches de silicium-9 de qualité d'essai

gaufrettes-10 de silicium de qualité d'essai

gaufrettes-11 de silicium de qualité d'essai

8 "Dummy grade Silicon Wafer

12 "Dummy grade Silicon Wafer épaisseur 700-730um

12 "Dummy grade Silicon Wafer épaisseur 650-700um

12 "Test de qualité Silicon Wafer

4″ Test Grade Silicon Wafers with Single Side Polished

12”Dummy wafer

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