Litiumniobat (LiNbO3) är en förening av niob, litium och syre. Dess enkristaller är ett viktigt material för optiska vågledare, mobiltelefoner, piezoelektriska sensorer, optiska modulatorer och olika andra linjära och icke-linjära optiska applikationer. Enstaka kristaller av litiumniobat kan odlas med Czochralski-processen. En Z-cut, enkristall litiumniobatplatta. Efter att en kristall har odlats skärs den i skivor med olika orientering. Vanliga riktningar är Z-cut, X-cut, Y-cut och cut med roterade vinklar på föregående axel.
Powerway Wafer Co., Limited slutför jonimplantation och delning+ slipningsprocessplattform och erbjuder 3-6 tums skivimplantation, bindning, skalning.
| Vanliga produkter | Strukturera | Anmärkning |
| LNOI (Övre skikttjocklek 50-1000nm) |
Enkristall LN tunn film SiO2(2μm) LN Substrat (500μm) |
Stor skillnad i brytningsindex Tillämpning: Elektrooptiska modulatorer, Optiska vågledare, Resonatorer, SAW-enheter, FRAM-minnesenheter |
| LN på Si med SiO2 (Övre skikttjocklek 50-1000nm) |
Enkristall LN tunn film SiO2 Si -substrat (400 eller 500μm) |
Stor skillnad i brytningsindex Integration med kisel Tillämpning: Elektrooptiska modulatorer, Optiska vågledare, Resonatorer, SAW-enheter, FRAM-minnesenheter |
| LT på Si (Övre skikttjocklek 5-50μm) |
Enkristall LT tunn film Si Substrat |
Direkt bindning Intergration med kisel Tillämpning: SAW -enheter |
| LN på Si (Övre skikttjocklek 5-50μm) |
Enkristall LN tunn film Si Substrat |
Direkt bindning Intergration med kisel Tillämpning: SAW -enheter |
| LT på SiO2/Si (Övre skikttjocklek 50-1000nm) |
Enkristall LT tunn film SiO2 Si Substrat |
Ökade pyroelektriska egenskaper Förbättrad känslighet för pyroelektriska enheter Tillämpning: Pyroelektriska sensorer, SAW -enheter |
| MgO-dopad LN (Övre skikttjocklek 50-1000nm) |
MgO-dopad LN tunn film SiO2 LN Substrat |
Motståndskraftig mot optisk demage Förmåga att tåla hög ljusintensitet Lutning till tunnfilmspolarisering Användning: Elektrooptiska modulatorer, Terahertz-generation |
| LN med elektrod (Övre skikttjocklek 50-1000nm) |
LN tunn film SiO2 Elctrode (100nm) LN Substrat |
Ansökan: Elektrooptiska modulatorer Optiska vågledare Resonatorer |
| LN tunn film Elctrode SiO2 LN Substrat |
Ansökan: SAW -enheter BOND -minnesenheter |
| Specifikation av produkter i LNOI -serien | |
| Översta LN funktionella lager | |
| Diameter | 3 ″ (76,2 mm)/4 ″ (100 mm) |
| Tjocklek | 50 ~ 1000nm |
| Reflektionsindex | nr≈ ± 2,2860 |
| ne≈ ± 2,2024 | |
| Edge Exclusion | 5 mm |
| Orientering | Z, X, Y, Y-128 ° etc. |
| Tomrum | <10 |
| TTV | ± 5% |
| Isoleringsskikt | |
| Beredningsmetod | PECVD, termisk oxid |
| Tjocklek | 1000 ~ 4000nm |
| Reflektionsindex | 1,46 ~ 1,48 |
| TTV | ± 5% |
| Valfritt underlag | |
| Si, LN, kvarts, glas | |
| Valfritt elektrodlager (över eller under SiO2 -isoleringsskikt) | |
| Material | Pt/Au |
| Tjockleksintervall | 100 ~ 400nm |
Se detaljerade specifikationer nedan:
Piezoelektrisk LiNbO3 -skiva
1. Allmänna LN Crystal Wafer -krav: piezokristall
Orientering: Att vara enligt önskemål ± 0,20, om inte specificerat.
Diameter: (1) Φ76,2 ± 0,5 mm (2) Φ100,0 ± 0,5 mm
Tjocklek: （1） 0,50 ± 0,05 mm (2) 0,35 ± 0,03 mm
Bow: ≤ 40um
Avsmalnande: ≤ 20um
Identifiering platt position och längd ska vara enligt följande
Primär lägenhet: Måste vara inom ± 0,20, om det inte anges.
Primär platt längd: （1） 22 ± 2 mm （2） 32 ± 2 mm om inte specificerat.
Sekundär platt längd: （1） 10 ± 3 mm （2） 12 ± 3 mm om det inte anges.
Ytpolsk kvalitet:
Ytpolish ： Spegelpolerad 10—15A
Baksida polsk: Lappad med GC240 eller GC1000 diamantsand och etsad.
Kantflisar: Kantavrundning
Curie Temp. : 1142 ± 30C
2. Individuell skivorientering ＂Särskild＂ Krav:
1) Orientering: 127,860Y ± 0,20
Primär plan riktning: X-axel.
Sekundär lägenhet: ingen
640Y-klippt
2) Orientering: 640Y ± 0,20
Primär plan riktning: X-axel
econdary Flat: 1800 medurs från den primära lägenheten om det behövs.
3) YZ-snitt
Orientering: Y-axel ± 0,20
Primär plan riktning: Z-axel
Sekundär platt: X-axel
3. optisk LiNbO3 -skiva
Kristallorientering: X, Z
Orienteringsfluktuationer: ± 0,30, två ändar av kristall ska poleras.
Diameter: 76,2 ± 0,5 mm
Längd: 50 ～ 80 mm.
Curie Temp.1142 ± 20C
Orientering av första referenslägenhet: Efter behov ± 0,20.
Första referensens längd: 22 ± 2 mm polerad inspektion.
Andra referenslägenheten: Tillgänglig vid behov, längden ska vara 10 ± 3 mm
Utseende: Fri från sprickor, porer, inkludering.
4. optiska egenskaper:
Transparent intervall: 370—5000nm
Brytningsindex: （633nm） nej = 2.286 ne = 2.200
Brytningsgradient （633nm） ≤5 × 10-5/cm
Transmittivitet （633nm） ≥68%
Briefringence index: △ n = nej - ne≈0.08
Piezoelektronisk kvartsskiva
5.Allmänna krav på kvartsskivor:
Diameter: (1) Φ76,2 ± 0,5 mm
Tjocklek: (1) 0,35 ± 0,05 mm (2) 0,40 ± 0,05 mm (3) 0,50 ± 0,05 mm
Bow: ≤ 40um
Avsmalnande: ≤ 20um
Orientering: Att vara enligt önskemål ± 0,20, om inte specificerat.
Den platta positionen och längden ska vara följande:
Primär lägenhet: Måste vara inom ± 0,20, om det inte anges.
Primär platt längd: 22 ± 2 mm om det inte anges.
Sekundär platt längd: 10 ± 3 mm om inte specificerat.
Ytpolsk kvalitet:
Ytpolish ： Spegel polerad 10—15A
Baksida polsk: Lappad med GC600 eller GC1200 diamantsand och etsad.
Kantflisar: Kantavrundning
Fröplats: Att vara inom mitten av 6,5 mm från skivan eller inte krävs.
Q -faktor: ≥ 2 miljoner min.
6.Individuell skivorientering ＂Särskild＂ Krav:
1) 360Y-cu
Orientering: 360Y ± 0,20
Primär plan riktning: X-axel.
Sekundär lägenhet: Två lägenheter, 90 och 270 från den primära lägenheten vid behov.
340Y-klippt
2) Orientering: 340Y ± 0,20
Primär plan riktning: X-axel
Sekundär lägenhet: 900 medurs från den primära lägenheten om det behövs.
42.750Ycut
3) Orientering: 42,750Y ± 0,20
Primär plan riktning: X-axel
7. litiumtantalat
1) Allmänna LT Crystal Wafer -krav:
Diameter: (1) Φ76,2 ± 0,5 mm (2) Φ100,0 ± 0,5 mm
Tjocklek: (1) 0,50 ± 0,03 mm (2) 0,40 ± 0,03 mm
Bow: ≤ 40um
Avsmalnande: ≤ 20um
Orientering: Att vara enligt önskemål ± 0,20, om inte specificerat.
Den platta positionen och längden ska vara följande:
Primär lägenhet: Måste vara inom ± 0,20, om det inte anges.
Primär platt längd: (1) 22 ± 2 mm (2) 32 ± 2 mm om inte specificerat.
Sekundär platt längd: (1) 10 ± 3 mm (2) 12 ± 3 mm om det inte anges.
8. ytpolsk kvalitet:
Ytpolish ： Spegel polerad 10—15A
Baksida polsk: Lappad med GC1200 diamantsand och etsad.
Kantflisar: Kantavrundning
Curie Temp. : 605 ± 30C
Individuell skivorientering ＂Särskild＂ Krav:
1) 360Y-snitt
Orientering: 360Y ± 0,20
Primär plan riktning: X-axel.
Sekundär lägenhet: ingen
2) 420Y-snitt
Orientering: 420Y ± 0,20
Primär plan riktning: X-axel.
Sekundär lägenhet: 1800 medurs från den primära lägenheten om det behövs.
X-1120Ycut
Orientering: X-axel ± 0,20
Primär plan riktning:+1120Y
9. piezoelektronisk kvartsskiva
Allmänna krav på kvartsskivor:
Diameter: (1) Φ76,2 ± 0,5 mm
Tjocklek: (1) 0,35 ± 0,05 mm (2) 0,40 ± 0,05 mm (3) 0,50 ± 0,05 mm
Bow: ≤ 40um
Avsmalnande: ≤ 20um
Orientering: Att vara enligt önskemål ± 0,20, om inte specificerat.
Den platta positionen och längden ska vara följande:
Primär lägenhet: Måste vara inom ± 0,20, om det inte anges.
Primär platt längd: 22 ± 2 mm om det inte anges.
Sekundär platt längd: 10 ± 3 mm om inte specificerat.
10. ytpolsk kvalitet:
Ytpolish ： Spegel polerad 10—15A
Baksida polsk: Lappad med GC600 eller GC1200 diamantsand och etsad.
Kantflisar: Kantavrundning
Fröplats: Att vara inom mitten av 6,5 mm från skivan eller inte krävs.
Q -faktor: ≥ 2 miljoner min.
Individuell skivorientering ＂Särskild＂ Krav:
1) 360Y-cu
Orientering: 360Y ± 0,20
Primär plan riktning: X-axel.
Sekundär lägenhet: Två lägenheter, 90 och 270 från den primära lägenheten vid behov.
2) 340Y-snitt
Orientering: 340Y ± 0,20
Primär plan riktning: X-axel
Sekundär lägenhet: 900 medurs från den primära lägenheten om det behövs.
3) 42.750Ycut
Orientering: 42,750Y ± 0,20
Primär plan riktning: X-axel
4) Andra tillgängliga om det behövs
Relaterade produkter
litiumniobatmodulator
litiumniobat brytningsindex
litiumniobatfasmodulator
litiumniobatplatta
litiumniobategenskaper
nyckelord:
jonimplantation
litiumtantalatskiva
litiumniobatskikt
LN på kvarts
LN tunn film
SÅG kvartsskiva
litiumtantalatskikt
litiumtantalatsubstrat
litiumtantalat tunn film
LT på SiO2/Si
LN med elektrod
LN Substrat
Svart litiumniobat
litiumniobat på Si
LT på Si
4 "LiNbO3 tunn film på Kiselskiva
If you need more information about lithium niobate,
please visit our website: https://www.powerwaywafer.com,
send us email at sales@powerwaywafer.com and powerwaymaterial@gmail.com.