Las obleas de diamante de PAM-XIAMEN son productos a escala de obleas que se utilizan para aprovechar el enorme potencial de los materiales de diamante, como las pruebas tribológicas, las aplicaciones únicas de procesamiento a nanoescala y el desarrollo de MEMS. En el mercado actual de obleas de diamante, hay obleas de diamante de tres grados, obleas de diamante de grado microelectrónico, obleas y rebanadas de diamante de grado térmico y obleas de diamante de grado óptico:

1. Oblea de diamante de grado microelectrónico para Wdespues Fabricación

Las obleas se pueden hacer experimentar con las propiedades notables del diamante, y las especificaciones, como la consistencia de rendimiento, el arco y el grosor, cumplen con las del nivel de oblea de referencia, lo que puede hacer que el corte de obleas de alambre de diamante se inserte directamente en el proceso de fundición MEMS.

El sustrato compuesto preparado por la película delgada de diamante / sustrato heterogéneo no solo tiene el alto rendimiento de conductividad térmica del diamante, sino que también reduce el costo de la película de diamante gruesa, que se puede usar directamente para el sustrato epitaxial de material semiconductor de banda ancha y el crecimiento de materiales. El factor de disipación de calor se considera directamente del propio material epitaxial, que también es una dirección de desarrollo importante para los dispositivos semiconductores en el futuro. Los materiales de las obleas semiconductoras se están desarrollando en las obleas de gran tamaño, lo que requiere que el material de las obleas de cristal único de diamante sea de gran tamaño y de alta calidad. Al mismo tiempo, el excelente rendimiento de disipación de calor puede mejorar el rendimiento del dispositivo.

1.1 Especificación de la oblea de diamante de grado microelectrónico

Oblea de diamante policristalino n.º 1

Oblea de diamante	Diamante policristalino
Método de crecimiento	MPCVD
Espesor de la oblea	0 ~ 500um +/- 25um
Tamaño de la oblea	1 cm * 1 cm; 2 pulgadas; personalizado
Rugosidad de la superficie	Ra <1 nm
FWHM （D111）	0.354
Coeficiente de expansión termal	1.3 × 10 ^ -6 K ^ -1
Conductividad térmica	> 1000 W / mK

 1.2 Flujo de fabricación de obleas de diamante de grado microelectrónico

1.3 Espectros XRD de oblea de diamante CVD de 2 pulgadas

La orientación primaria de las facetas del cristal de las películas de diamante CVD es el plano (111).

1.4 Espectros Raman de oblea de diamante CVD de 2 pulgadas

Solo hay un pico de diamante a 1333,48 cm-1.

1.5 Micrografías SEM (× 1k) de la oblea de diamante de 2 pulgadas después del pulido áspero

1.6 Micrografías AFM de la oblea de diamante de 2 pulgadas después del pulido áspero

Imagen Ra = 137 nm con el área de escaneo de 5 × 5 μm2.

1.7 Micrografías SEM (× 1k) de la oblea de diamante policristalino de 2 pulgadas después del pulido final

1.8 Micrografías AFM de la oblea de diamante de 2 pulgadas después del pulido final

Imagen Ra = 0.278 nm con un área de escaneo de 5 × 5 μm2.

Imagen Ra = 0.466 nm con el área de escaneo de 15 × 15 μm2.

1.9 Resultados de EDS para películas pulidas

El contenido de elementos en el área pulida es todo carbono. Sin contaminación de metal de la placa de pulido.

1.10 Resultados XPS para películas pulidas

2. Obleas y rebanadas de Diamand de grado térmico

El diamante exhibe la conductividad térmica más alta entre todos los materiales. Su conductividad térmica es de hasta 2000 W / mK, que es mucho más alta que la del cobre. Por lo tanto, las obleas y rebanadas cortadas con alambre de diamante se vuelven cada vez más populares en la gestión térmica como disipadores de calor, disipadores de calor, metalización con patrones litográficos, aislamiento eléctrico entre la metalización superior e inferior, ranuras de alivio de tensión para un montaje sin tensión, etc.

Difusores de calor de diamante CVD en varias formas, y los parámetros típicos son los siguientes:

Artículo	Valor
Diámetro	80 mm o tamaño pequeño como 5 * 5 mm2
Espesor disponible	0.3mm
Tolerancia de grosor	﹢/- 0,02 mm
Proceso	Plasma de arco de CC
Estructura	Policristalino
Composición química	100% C
Densidad	3,52 g / cm³
el coeficiente de Poisson	0.1
El módulo de Young	1000-1100 Gpa
Conductividad térmica	C> 1000 W / mK, B> 1300 W / mK, A> 1800 W / mK
Resistencia a la tracción	> 350 kg / mm²
Dureza Vickers	7000 ~ 10000 kg / mm²
Fuerza compresiva	＞ 110GPa
Estabilidad térmica	800 ℃
Resistencia al desgaste (relación de abrasión)	100.000 ~ 200.000
Estabilidad química	Insoluble en álcali y ácido.
Acabado superficial pulido	＜ 50 millas náuticas
Acabado superficial lapeado	＜ 0,5 um

3. Oblea de diamante de grado óptico

Las obleas de diamante de grado óptico se utilizan como ventana para divisores de haz infrarrojo, lentes para espectroscopia de terahercios y cirugía con láser de CO2, ventanas Brewster para aplicaciones multiespectrales como láseres de electrones libres, láseres de infrarrojos de múltiples longitudes de onda o sistemas ópticos de terahercios, para unidades de reflexión total atenuada ) espectroscopia, para células líquidas de diamante. A continuación se muestra la hoja de datos de la oblea de diamante en nivel óptico para su referencia:

Parámetro	Oblea de diamante de grado óptico
Tamaño	(3 ~ 50) ± 1 milímetro
Espesor	(100 ~ 600) ± 30 um
Proceso de superficie	Pulido por ambos lados
Aspereza	A <5 nm	B <10 nm	C <30 nm

 

El siguiente diagrama muestra la tasa de transmisión del sustrato de diamante de grado óptico:

Tasa de transmisión de la oblea de diamante

Fuente: PAM-XIAMEN

Disipador de calor de diamante

 

 

 

 

 

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