PAM XIAMEN propose des photomasques de taille moyenne et petite.
Précision de la plaque de chrome (taille standard : quartz de 15,2 cm)
| Précision/Niveau | Précision maximale | Haute précision | Précision moyenne | Précision générale |
| Largeur de ligne/espace min. | 0,75 μm/0,75 μm | 3μm/3μm | 5μm/5μm | 10μm/10μm |
| Contrôle CD | ±0.1μm | ±0.3μm | ±0.5μm | ±1.0μm |
| Précision de hauteur totale | ±0.25μm | ±0.5μm | ±0,75 μm | ±1.0μm |
| Précision d'enregistrement | ±0.25μm | ±0.5μm | ±0,75 μm | ±1.0μm |
| Précision de superposition | ±0.25μm | ±0.5μm | ±0,75 μm | ±1.0μm |
| Orthogonalité | ±0,5 μrad | ±0,75 μrad | ±1.0μrad | ±2.0μrad |
Matériau de la plaque chromée (plaque vierge Photomask)
| Matériel | Verre sodocalcique、Quartz | |||
| Max. Taille | 3006,4009,5009,6012,6025,7012,9012,12″x12″,14″x14″ | |||
| Taille normale | 1,5 ± 0,2 mm, 2,3 ± 0,2 mm, 3,0 ± 0,2 mm, 4,8 ± 0,2 mm | |||
| Épaisseur | 6,35 ± 0,2 mm (QZ) | |||
| Type de film | Chrome à faible réflexion | |||
| Densité optique (λ=450nm) | Entre les plaques3.0±0.3 dans la plaque±0.3 | |||
| Réflectivité(λ=436nm) | Entre les plaques10±5 % dans la plaque ±2 % | |||
Principaux domaines d'application :
1. IC Bumping, IC board, IC Lead Frame et autres industries connexes ;
2. LED (PSS), MEMS, CAPTEUR et ENCODEUR et autres industries de composants électroniques fins.
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Fondée en 1990, Xiamen Powerway Advanced Material Co., Ltd (PAM-XIAMEN) est l'un des principaux fabricants de matériaux semi-conducteurs en Chine.PAM-XIAMEN développe des technologies avancées de croissance cristalline et d'épitaxie, des procédés de fabrication, des substrats techniques et des dispositifs semi-conducteurs.Les technologies de PAM-XIAMEN permettent des performances plus élevées et une fabrication à moindre coût de tranches de semi-conducteurs.
La qualité est notre première priorité. PAM-XIAMEN a été ISO9001: 2008, possède et partage quatre usines modernes qui peuvent fournir une gamme assez large de produits qualifiés pour répondre aux différents besoins de nos clients, et chaque commande doit être traitée via notre système de qualité rigoureux. Un rapport de test est fourni pour chaque envoi, et chaque plaquette sont sous garantie.
