3.Definizioni di epitassia del carburo di silicio

3-11. Particelle

3-11. Particelle Le particelle hanno l'aspetto di occhi e, se presenti, sono solitamente concentrate sui bordi del wafer e non all'interno dell'area specificata. Se presente, contare una volta per occorrenza. Due particelle entro 200 micron contano come una.

2018-06-28 Per saperne di più...

3-12. Gocce di silicio

3-12. Goccioline di silicio Le goccioline di silicio possono apparire come piccoli cumuli o depressioni sulla superficie del wafer. Normalmente assenti, ma se presenti sono in gran parte concentrati sul perimetro del wafer. Se presente, stimare la % dell'area specificata interessata.

2018-06-28 Per saperne di più...