3-11. 입자 입자는 눈 모양을 갖고 있으며 존재하는 경우 일반적으로 지정된 영역이 아닌 웨이퍼 가장자리에 집중되어 있습니다. 존재하는 경우 발생당 한 번 계산합니다. 200미크론 내의 입자 2개는 1개로 계산됩니다.
3-12. 실리콘 물방울 실리콘 물방울은 웨이퍼 표면에 작은 둔덕이나 함몰된 형태로 나타날 수 있습니다. 일반적으로 존재하지 않지만 존재하는 경우 웨이퍼 주변에 주로 집중되어 있습니다. 존재하는 경우 영향을 받은 특정 영역의 %를 추정합니다.
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