Templat GaN dengan satu sisi digilap dan langkah atom disediakan, yang ditanam pada substrat paksi C 4H atau 6H (0001). Pertumbuhan GaN pada substrat SiC dapat mencapai pengembangan haba yang lebih rendah, ketidakcocokan kisi bawah, dan kekonduksian terma yang sangat baik, sehingga memberikan permainan sepenuhnya kepada ciri-ciri GaN. Kerana pelesapan haba yang lebih baik, GaN pada substrat SiC sangat sesuai untuk pembuatan peranti bertenaga rendah dan berkuasa tinggi. Berikut adalah spesifikasi terperinci wafer epitaxial GaN-on-SiC:

1. Spesifikasi GaN pada SiC Substrat

Perkara 1:

Wafer P-GaN pada templat SiC (PAMP20230-GOS)

GaN pada SiC, jenis p
2 ″ dia, p -jenis,
Ketebalan: 2um
Orientasi: Paksi-C (0001) +/- 1.0 °
XRD (102) <300arc.sec
XRD (002) <400arc.sec
Substrat: Substrat SiC, separa penebat, C (0001)
Struktur: GaN pada SiC (0001).
Satu Bahagian Dipoles, siap Epi, dengan langkah atom

Perkara 2:

GaN pada SiC, (2 ") 50.8 ± 1mm ​​(PAM200818-G-SIC)

wafer u-GaN pada templat silikon karbida
Ketebalan lapisan GaN: 1.8um
Lapisan GaN: jenis n, Si didop
XRD (102) <300arc.sec
XRD (002) <400arc.sec
Bahagian tunggal digilap, siap Epi, Ra <0.5nm
Kepekatan pembawa: 5E17 ~ 5E18.

2. Mengenai GaN pada SiC Epitaxy

Wafer 6H-SiC berkualiti tinggi adalah substrat yang sesuai untuk menanam epitaxy GaN. Kesan regangan baki pada antara muka dapat dikurangkan kerana kisi yang hampir sempurna. Lapisan epi GaN yang ditanam pada SiC dapat ditanam dengan teknik MBE, MOCVD dan sublimasi sandwic. Antaranya, menggunakan sublimasi sandwic untuk menumbuhkan filem nipis GaN pada substrat SiH 6H mempunyai kualiti sifat kristal dan optik yang lebih baik daripada yang ditanam oleh MBE dan MOCVD.

Penyelidikan oleh GaN pada pengecoran SiC menunjukkan bahawa morfologi permukaan epitaxial dan fotoluminesen GaN pada substrat SiC sangat dipengaruhi oleh polaritas substrat. Polaritas (0001) GaN berubah dengan polaritas satah basal substrat SiC. Apabila substrat menggunakan C sebagai satah akhir, ikatan CN terbentuk antara atom C dan atom N. Terdapat pertindihan kecil antara bahagian bawah jalur konduksi dan bahagian atas jalur valensi pada tahap Fermi, dan jurang tenaga pseudo muncul, yang mencerminkan kesan pembentukan ikatan yang kuat di antara setiap atom. Dan tenaga pengikat antara muka adalah -5.5489eV, yang sedikit lebih besar daripada tenaga pengikat struktur antara muka bit atom atom AT yang menjerap N -5.5786eV.

Sebagai ukuran Substrat SiC terus berkembang, wafer epitaxial GaN dengan kecacatan yang lebih sedikit dan kualiti yang lebih baik akan ditanam.

3. Aplikasi GaN Epitaxial Growth pada SiC Wafer Substrate

GaN dan SiC telah dipelajari secara meluas untuk sistem pensuisan kuasa dengan kecekapan tinggi. Sekarang, transistor GaN pada SiC telah menunjukkan prestasi dan potensi hebat dari jurang lebar jalur untuk peranti kuasa.

Di samping itu, penguat kuasa tinggi yang dibuat pada GaN pada wafer SiC dapat beroperasi dalam julat frekuensi 9 GHz hingga 10 GHz dan sesuai untuk aplikasi radar berdenyut. Penguat mempunyai keuntungan tiga peringkat, dapat memberikan keuntungan isyarat yang lebih besar daripada 30 dB dan kecekapan lebih besar dari 50%, dapat memenuhi keperluan daya DC sistem yang lebih rendah, dan memberikan sokongan untuk mempermudah penyelesaian pengurusan termal sistem. Teknologi GaN on SiC mempermudah integrasi sistem dan memberikan prestasi yang sangat baik. Ringkasnya GaN pada substrat SiC akan memainkan peranan utama dalam aplikasi 5G.

Untuk maklumat lebih lanjut, sila hubungi kami melalui e-mel di victorchan@powerwaywafer.com dan powerwaymaterial@gmail.com.