Einkristall-Germanium (Ge)-Material ist ein wichtiges hartes und sprödes infrarotoptisches Material, das zu indirekten Übergangshalbleitern mit hoher Lochmobilität und Elektronenmobilität gehört. Es ist weit verbreitet in der Luft- und Raumfahrt, Hochfrequenz-Ultrahochfrequenzelektronik, Glasfaserkommunikation, Infrarotoptik, Solarzellen und anderen Bereichen.PAM-XIAMEN kann einkristallines Germaniummaterial mit Größen von 2 Zoll bis 8 Zoll anbieten. Weitere Germanium-Wafer finden Sie unterhttps://www.powerwaywafer.com/germanium-wafer/germanium-single-crystals-and-wafers.html. Im Folgenden sind die spezifischen Parameter des 8-Zoll-Monokristall-Germanium-Halbleiterwafers aufgeführt:
1. 8-Zoll-Monokristall-Germanium-Substrat
PAM221222-GE
| Artikel | 8-Zoll-Monokristall-Ge-Wafer |
| Durchmesser | 200 mm |
| Leitfähigkeit | N/A (undotiert) |
| Dicke | 725 +/- 25 um |
| Semi-Standard-Kerbe | 110 |
| Der spezifische Widerstand | >1 Ohm.cm |
| GBIR/TTV | 15um max (Basis auf WEE: 5mm) |
| Bow / Warp | 50 µm max (Basis auf WEE: 5 mm) |
| Partikel (> = 0,2 um) | 30 max |
| Oberflächenfinish | Doppelseite poliert |
| Metallkontamination (Al, Ca, Cr, Cu, Fe, Na, Ni, Zn) | Alle Metalle <2E10 Atome/cm2 |
2. Angelegenheiten, die während des Schneidevorgangs von Einkristall-Germanium-Material beachtet werden müssen
Beim Schneidprozess von einkristallinem Germanium hat die entstehende Schneidwärme einen großen Einfluss auf die Bearbeitungstoleranz, die Spanbildung, die Werkzeugstandzeit und die Integrität der Bearbeitungsfläche. Daher ist es notwendig, beim Schneidprozess auf die Schneidtemperatur und die Verteilung von einkristallinem Germanium zu achten.
Durch Untersuchung und Analyse des Germanium-Einkristallschneidens durch die Mikrobearbeitungstechnologie durch Einzelfaktor-Variablensimulation wurde festgestellt, dass:
- Die maximale Schnitttemperatur nimmt mit steigender Spindeldrehzahl ab; Mit zunehmender Vorschubgeschwindigkeit steigt auch die Schnitttemperatur; Mit zunehmender Schnitttiefe steigt auch die maximale Schnitttemperatur;
- Die maximale Schnitttemperatur nimmt mit zunehmendem Spanwinkel des Werkzeugs ab, und die Temperatur des negativen Spanwinkels des Werkzeugs ist höher als die des positiven Spanwinkels; Die Schnitttemperatur nimmt mit zunehmendem Werkzeugrückenwinkel nicht wesentlich ab; Die maximale Schnitttemperatur steigt mit zunehmendem Werkzeugspitzenradius.
Daher möchten wir Sie daran erinnern, geeignete Bearbeitungsparameter für Spindeldrehzahl, Vorschubgeschwindigkeit, Schnitttiefe usw. auszuwählen, wenn Sie die Mikrobearbeitungstechnologie zur Bearbeitung des Germanium-Halbleitermaterials verwenden.
Es wird berichtet, dass die Auswahl des folgenden theoretischen Werts für das Schneidwerkzeug die Mikroschneidtemperatur von Einkristall-Germanium effektiv reduzieren kann, wodurch die Verarbeitungsgenauigkeit und -effizienz von Halbleitern aus Einkristall-Germaniummaterial verbessert wird:
Spindeldrehzahl: 3000 U/min
Vorschubgeschwindigkeit: 12mm/min
Schnitttiefe: 3 μ M
Bogenradius der Werkzeugspitze: 1mm
Spanwinkel des Werkzeugs: – 10 °
Rückenwinkel des Werkzeugs: 20°
Remark：
The Chinese government has announced new limits on the exportation of Gallium materials (such as GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs, and GaSb) and Germanium materials used to make semiconductor chips. Starting from August 1, 2023, exporting these materials is only allowed if we obtains a license from the Chinese Ministry of Commerce. Hope for your understanding and cooperation!
Für weitere Informationen kontaktieren Sie uns bitte per E-Mail untervictorchan@powerwaywafer.com und powerwaymaterial@gmail.com.