Semikonduktor kompaun Indium antimonide (InSb), sebagai bahan semikonduktor celah jalur langsung, mempunyai jisim berkesan elektron rendah, mobiliti tinggi, dan lebar celah jalur sempit. Pada suhu rendah, kompaun InSb mempunyai pekali penyerapan yang tinggi untuk cahaya inframerah, dengan kecekapan kuantum lebih besar daripada atau sama dengan 80%. Dari segi pengesanan inframerah pertengahan dalam jalur panjang gelombang 3-5um, pengesan berdasarkan bahan InSb menonjol di kalangan banyak peranti bahan kerana teknologi bahan matang, kepekaan tinggi dan kestabilan yang baik. Kompaun semikonduktor InSb telah menjadi bahan pilihan untuk penyediaan pengesan inframerah gelombang pertengahan. PAM-XIAMEN boleh membekalkan InSbSemikonduktor sebatian III-Vuntuk fabrikasi peranti dan penyelidikan akademik, mengambil spesifikasi berikut sebagai contoh:
1. Spesifikasi Substrat InSb
| Perkara | Substrat InSb |
| ketebalan | 525±25um |
| Orientasi | [111A]±0.5° |
| Jenis/Dopan | N/Te |
| Kerintangan | 0.02~0.028 ohm·cm |
| Nc | (4-8)E14cm-3/cc |
| EPD | <100/sm2 |
| Mobility | >1E4 cm2/vs |
| Permukaan Selesai | SSP, DSP |
2. Analisis Prestasi Penyimpanan Substrat Kompaun InSb
Secara umumnya, bahan semikonduktor kompaun InSb boleh disimpan untuk tempoh masa selepas pemprosesan sebelum digunakan untuk menyediakan pengesan. Oleh itu, kestabilan prestasi wafer InSb semasa penyimpanan dan penggunaan adalah salah satu faktor penting yang mempengaruhi prestasi pengesan yang disediakan.
Untuk menyiasat perubahan prestasi wafer kompaun InSb di bawah penyimpanan jangka panjang, penyelidik telah menjalankan ujian penyimpanan dipercepatkan suhu tinggi pada substrat InSb (111). Semasa ujian, beberapa sifat kompaun InSb yang penting seperti geometri wafer, kekasaran permukaan, parameter elektrik dan kecacatan kehelan telah dikesan dan dikesan. Keputusan menunjukkan bahawa di bawah keadaan ujian pecutan suhu tinggi, kekasaran permukaan pada dasarnya kekal tidak berubah. Di bawah keadaan eksperimen, tiada penambahan atau pergerakan kehelan dalam substrat, dan parameter elektrik seperti kepekatan pembawa kekal tidak berubah. Semasa penyimpanan suhu atmosfera biasa, prestasi kompaun InSb kekal tidak berubah selama sekurang-kurangnya 2 tahun.
Untuk maklumat lanjut, sila hubungi kami e-mel divictorchan@powerwaywafer.com dan powerwaymaterial@gmail.com.