Topeng krom fotolitografi ada dijual. Mengikut bahan substrat yang berbeza, ia boleh dibahagikan kepada topeng kuarza, topeng soda dan lain-lain (termasuk plat pelega, filem), dll. Antaranya, topeng foto pada substrat kuarza dan kapur soda biasanya digunakan topeng litografi di universiti dan institut penyelidikan. Lebih lanjut mengenai spesifikasi daripada PAM-XIAMEN sila lihat seperti berikut:
No.1 Topeng Chrome Kosong PAM191218-MASKS
|
Spesifikasi Substrat Topeng |
|
| Bahan | limau Soda |
| dimensi | 3″x3″ |
| ketebalan | 0.060” ±0.004” |
| kebosanan | ≤ 15u |
| kecacatan | Tiada |
| Spesifikasi Metalisasi Chrome | |
| Ketebalan Filem Chrome | 1100A±10% |
| Ketumpatan Optik @ 530 nm | 2.8±0.2 |
| Gred Plat Topeng | Cetak |
| Lubang pin | >5um tiada,1-5u 0.3/inci persegi |
| Menentang Spesifikasi | |
| tahan | AZ1500 |
| Tahan ketebalan | 5300A±150A |
| kecacatan | Tiada |
Tandakan:
Plat Topeng Chrome disalut dengan rintangan foto. Plat topeng ini digunakan untuk membuat corak yang mempunyai ciri minimum sehingga 0.5 mikron menggunakan litografi LASER dan etsa basah/kering.
Topeng Fotolitografi No.2 PAM190702-MASKL
| Bahan | Topeng Litografi 5 inci |
| keperluan | Photomask untuk stepper ( model: 5009)
Model mesin litografi: ASML PA5000/50 Skala: 5:1 |
| Keperluan indeks kualiti grafik | |
| Ketepatan grafik | 100% |
| CD | 2um |
| Toleransi CD | ＜0.5um |
| Ketumpatan Kecacatan | ≤1 pc |
| Ukiran Toleransi | ＜0.5um |
Topeng Fotolitografi No. 3 Bercorak Chrome PAM190621-MASKL
No 3-1 Reka bentuk dan Cetakan Topeng Fotolitografi 4”
Saiz topeng: 4” x 4” persegi
Bahan topeng: Kuarza
Bahan corak: Chrome
Perkhidmatan untuk memasukkan reka bentuk corak untuk proses fabrikasi transistor mobiliti elektron tinggi (HEMT) (6 corak), dan ukuran talian penghantaran (TLM) untuk analisis rintangan sentuhan khusus (2 corak)
4 reka bentuk corak pada 1 topeng (masing-masing pada 1/4 kawasan topeng) – jumlah 8 reka bentuk
No 3-2 Reka Bentuk dan Cetakan Topeng Fotolitografi 5”
Saiz topeng: 5” x 5” persegi
Bahan topeng: Kuarza
Bahan corak: Chrome
Perkhidmatan untuk memasukkan reka bentuk corak untuk substrat nilam bercorak (PSS)
4 reka bentuk corak pada 1 topeng (masing-masing pada 1/4 kawasan topeng)
Harap maklum: Parameter teknikal 2 item di atas memenuhi keperluan berikut:
| Saiz Topeng (mm) | Keliman Minimum & Lebar Garisan | Ketepatan Jahitan | Tandakan |
| 101.6*101.6*2.3 | 3um≤W≤5um | ±0.3um | Bahan kuarza |
| 127.0*127.0*2.3 | 3um≤W≤5um | ±0.3um | Bahan kuarza |
| 101.6*101.6*3.0 | 3um≤W≤5um | ±0.3um | Bahan kuarza |
| 127.0*127.0*3.0 | 3um≤W≤5um | ±0.3um | Bahan kuarza |
Topeng Fasa 4 PAM190717-MASKQ No
Pitch: 1095.8nm
Saiz: 25mm x 3mm
Panjang gelombang pencahayaan 248nm
Saiz Substrat：35*17.2mm
Ketebalan Topeng Fasa: 1/4 inci (6.35mm)
No 5 Topeng Fasa Seragam PAM190821-MASKJ
Topeng Fasa Seragam untuk Kisi Bragg 1575 nm
Tempoh parut: 1088 nm
Ketepatan dan keseragaman tempoh parut: +/- 0.01 nm
Saiz parut: 10 mm x 10 mm
Saiz substrat: 30 mm x 25 mm
Dioptimumkan untuk pencahayaan tidak terpolarisasi 248 nm
0. pesanan: < 3%
Untuk maklumat lebih lanjut, sila hubungi kami melalui e-mel di victorchan@powerwaywafer.com dan powerwaymaterial@gmail.com.