4H N Typ SiC

4H N Typ SiC

Es ist ein SiC-Wafer vom Typ 4H N mit Stickstoffdotierung in den Größen 2 bis 4 Zoll erhältlich. Es stehen Dummy-Wafer und Prime-Wafer zur Verfügung. Für die MBE-Wachstumsforschung sowie die Elektronik- und Optoelektronikindustrie stehen hochwertige einkristalline SiC-Wafer zur Verfügung. SiC-Wafer sind ein Halbleitermaterial der nächsten Generation mit einzigartigen elektrischen Eigenschaften und hervorragenden thermischen Eigenschaften. Im Vergleich zu Siliziumwafern und GaAs-Wafern, n-dotiertSiliziumkarbid-Waferist besser für Hochtemperatur- und Hochleistungsgeräte geeignet.

1. Spezifikationen des SiC-Wafers vom Typ 4H N

1.1 4H N-TYPE SIC, 2″WAFER-SPEZIFIKATION

Substrateigentum S4H-51-N-PWAM-250 S4H-51-N-PWAM-330 S4H-51-N-PWAM-430
Beschreibung A/B Produktionsqualität C/D Forschungsqualität D Dummy-Qualität 4H SiC-Substrat
Polytype 4H
Durchmesser (50,8 ± 0,38) mm
Dicke (250 ± 25) μm (330 ± 25) μm (430 ± 25) μm
Trägertyp n-Typ
Dotierstoff Stickstoff
Widerstand (RT) A/B:0,012 – 0,028 Ω·cm;C:0,012 – 0,1 Ω·cm;D:0,02 – 0,3 Ω·cm
Oberflächenrauheit < 0,5 nm (Si-Oberfläche CMP Epi-ready); <1 nm (optische C-Face-Politur)
FWHM A<30 Bogensekunden B/C/D <50 Bogensekunden
Micropipe-Dichte A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2
Oberflächenorientierung
Auf Achse <0001>± 0,5°
Aus Achse 4° oder 8° in Richtung <11-20>± 0,5°
Primäre flache Ausrichtung Parallel {1-100} ± 5°
Primäre flache Länge (16 ± 1,7) mm
Sekundäre flache Ausrichtung Si-Fläche: 90° rechts. von der Ausrichtung flach ± ​​5°
C-Fläche: 90° gegen den Uhrzeigersinn. von der Ausrichtung flach ± ​​5°
Sekundäre flache Länge (8 ± 1,7) mm
Oberflächenfinish Ein- oder doppelseitig poliert
Verpackung Einzelwaffelbox oder Multiwaffelbox
Nutzfläche A:≥ 90 %;B:≥ 85 %;C:≥ 80 %;D:≥ 70 %
Kantenausschluss 1 mm

 

1.24H-SICWafer, N-TYPE, 3″WAFER-SPEZIFIKATION

Substrateigentum S4H-76-N-PWAM-330 S4H-76-N-PWAM-430
Beschreibung A/B Produktionsqualität C/D Forschungsqualität D Dummy-Qualität 4H SiC-Substrat
Polytype 4H
Durchmesser (76,2 ± 0,38) mm
Dicke (350 ± 25) μm (430 ± 25) μm
Trägertyp n-Typ
Dotierstoff Stickstoff
Widerstand (RT) 0,015 – 0,028 Ω·cm
Oberflächenrauheit < 0,5 nm (Si-Oberfläche CMP Epi-ready); <1 nm (optische C-Face-Politur)
FWHM A<30 Bogensekunden B/C/D <50 Bogensekunden
Micropipe-Dichte A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2
TTV/Bogen/Warp <25 um
Oberflächenorientierung
Auf Achse <0001>± 0,5°
Aus Achse 4° oder 8° in Richtung <11-20>± 0,5°
Primäre flache Ausrichtung <11-20>±5,0°
Primäre flache Länge 22,22 mm ± 3,17 mm
0,875″±0,125″
Sekundäre flache Ausrichtung Si-Fläche: 90° rechts. von der Ausrichtung flach ± ​​5°
C-Fläche: 90° gegen den Uhrzeigersinn. von der Ausrichtung flach ± ​​5°
Sekundäre flache Länge 11,00 ± 1,70 mm
Oberflächenfinish Ein- oder doppelseitig poliert
Verpackung Einzelwaffelbox oder Multiwaffelbox
Kratzer Keiner
Nutzfläche ≥ 90%
Kantenausschluss 2mm

 

1.3 4H N TYPE SIC 4″ WAFER-SPEZIFIKATION

Substrateigentum S4H-76-N-PWAM-330 S4H-76-N-PWAM-430
Beschreibung A/B Produktionsqualität C/D Forschungsqualität D Dummy-Qualität 4H SiCSubstrat
Polytype 4H
Durchmesser (76,2 ± 0,38) mm
Dicke (350 ± 25) μm (430 ± 25) μm
Trägertyp n-Typ
Dotierstoff Stickstoff
Widerstand (RT) 0,015 – 0,028 Ω·cm
Oberflächenrauheit < 0,5 nm (Si-Oberfläche CMP Epi-ready); <1 nm (optische C-Face-Politur)
FWHM A<30 Bogensekunden B/C/D <50 Bogensekunden
Micropipe-Dichte A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2
TTV/Bogen/Warp <45 um
Oberflächenorientierung
Auf Achse <0001>± 0,5°
Aus Achse 4° oder 8° in Richtung <11-20>± 0,5°
Primäre flache Ausrichtung <11-20>±5,0°
Primäre flache Länge 32,50 mm ± 2,00 mm
Sekundäre flache Ausrichtung Si-Fläche: 90° rechts. von der Ausrichtung flach ± ​​5°
C-Fläche: 90° gegen den Uhrzeigersinn. von der Ausrichtung flach ± ​​5°
Sekundäre flache Länge 18,00 ± 2,00 mm
Oberflächenfinish Ein- oder doppelseitig poliert
Verpackung Einzelwaffelbox oder Multiwaffelbox
Kratzer Keiner
Nutzfläche ≥ 90%
Kantenausschluss 2mm

 

PAM-XIAMEN kann außerdem die folgenden Spezifikationen anbieten:

4H N Typ SiC-Substrat, 5 mm x 5 mm, 10 mm x 10 mm WAFER-SPEZIFIKATION: Dicke: 330 μm/430 μm

4H N-Typ SiC-Dünnfilm, 15 mm x 15 mm, 20 mm x 20 mm WAFER-SPEZIFIKATION: Dicke: 330 μm/430 μm

A-Plane-SiC-Wafer, Größe: 40 mm * 10 mm, 30 mm * 10 mm, 20 mm * 10 mm, 10 mm * 10 mm, Spezifikationen unten:

SiC-Wafer vom Typ 4H N, Dicke: 330 μm/430 μm oder kundenspezifisch

2. Über 4H-SiC-Eigenschaften

2.1 4H-SiC-Eigenschaften VS. 6H-SiC-Eigenschaften

Polytype Einkristall 4H Einkristall 6H
Gitterparameter a = 3,076 Å a = 3,073 Å
c = 10,053 Å c = 15,117 Å
Stapelreihenfolge ABCB ABCACB
Bandabstand 3.26 eV 3.03 eV
Dichte 3,21 · 103 kg/m3 3,21 · 103 kg/m3
Therm. Expansionskoeffizient 4-5 × 10-6 / K 4-5 × 10-6 / K
Brechungsindex no = 2,719 no = 2,707
ne = 2,777 ne = 2,755
Dielektrizitätskonstante 9.6 9.66
Wärmeleitfähigkeit 490 W / mK 490 W / mK
Zusammenbruch des elektrischen Feldes 2-4 · 108 V/m 2-4 · 108 V/m
Sättigungsdriftgeschwindigkeit 2,0 · 105 m/s 2,0 · 105 m/s
Elektronenmobilität 800 cm2/V·S 400 cm2/V·S
Loch Mobilität 115 cm2/V·S 90 cm² / V · S.
Mohs-Härte ~9 ~9

2.2 Optische Eigenschaften von SiC-Wafern vom Typ 4H N

Der Brechungsindex von 4H SiC nimmt mit zunehmender Wellenlänge ab:

4H N Typ SiC Brechung vs. Wellenlänge

Die 4H-SiC-Bandlücke nimmt ab, wenn die Temperatur steigt:

4H SiC Bandlückentemperatur

2.3 4H-SiC-Substarte-Wärmeeigenschaften

Die Wärmeleitfähigkeit von 4H SiC ändert sich mit der Temperatur. Wenn die Temperatur niedrig ist (etwa 40℃), steigt die Wärmeleitfähigkeit des SiC-Wafers vom Typ 4H N; Wenn die Temperatur jedoch über 40℃ liegt, beginnt sie langsam zu sinken:

4H SiC Wärmeleitfähigkeitstemperatur

Für weitere Informationen kontaktieren Sie uns bitte per E-Mail untervictorchan@powerwaywafer.com und powerwaymaterial@gmail.com.

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