Es ist ein SiC-Wafer vom Typ 4H N mit Stickstoffdotierung in den Größen 2 bis 4 Zoll erhältlich. Es stehen Dummy-Wafer und Prime-Wafer zur Verfügung. Für die MBE-Wachstumsforschung sowie die Elektronik- und Optoelektronikindustrie stehen hochwertige einkristalline SiC-Wafer zur Verfügung. SiC-Wafer sind ein Halbleitermaterial der nächsten Generation mit einzigartigen elektrischen Eigenschaften und hervorragenden thermischen Eigenschaften. Im Vergleich zu Siliziumwafern und GaAs-Wafern, n-dotiertSiliziumkarbid-Waferist besser für Hochtemperatur- und Hochleistungsgeräte geeignet.
1. Spezifikationen des SiC-Wafers vom Typ 4H N
1.1 4H N-TYPE SIC, 2″WAFER-SPEZIFIKATION
Substrateigentum | S4H-51-N-PWAM-250 S4H-51-N-PWAM-330 S4H-51-N-PWAM-430 |
Beschreibung | A/B Produktionsqualität C/D Forschungsqualität D Dummy-Qualität 4H SiC-Substrat |
Polytype | 4H |
Durchmesser | (50,8 ± 0,38) mm |
Dicke | (250 ± 25) μm (330 ± 25) μm (430 ± 25) μm |
Trägertyp | n-Typ |
Dotierstoff | Stickstoff |
Widerstand (RT) | A/B:0,012 – 0,028 Ω·cm;C:0,012 – 0,1 Ω·cm;D:0,02 – 0,3 Ω·cm |
Oberflächenrauheit | < 0,5 nm (Si-Oberfläche CMP Epi-ready); <1 nm (optische C-Face-Politur) |
FWHM | A<30 Bogensekunden B/C/D <50 Bogensekunden |
Micropipe-Dichte | A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2 |
Oberflächenorientierung | |
Auf Achse | <0001>± 0,5° |
Aus Achse | 4° oder 8° in Richtung <11-20>± 0,5° |
Primäre flache Ausrichtung | Parallel {1-100} ± 5° |
Primäre flache Länge | (16 ± 1,7) mm |
Sekundäre flache Ausrichtung | Si-Fläche: 90° rechts. von der Ausrichtung flach ± 5° |
C-Fläche: 90° gegen den Uhrzeigersinn. von der Ausrichtung flach ± 5° | |
Sekundäre flache Länge | (8 ± 1,7) mm |
Oberflächenfinish | Ein- oder doppelseitig poliert |
Verpackung | Einzelwaffelbox oder Multiwaffelbox |
Nutzfläche | A:≥ 90 %;B:≥ 85 %;C:≥ 80 %;D:≥ 70 % |
Kantenausschluss | 1 mm |
1.24H-SICWafer, N-TYPE, 3″WAFER-SPEZIFIKATION
Substrateigentum | S4H-76-N-PWAM-330 S4H-76-N-PWAM-430 |
Beschreibung | A/B Produktionsqualität C/D Forschungsqualität D Dummy-Qualität 4H SiC-Substrat |
Polytype | 4H |
Durchmesser | (76,2 ± 0,38) mm |
Dicke | (350 ± 25) μm (430 ± 25) μm |
Trägertyp | n-Typ |
Dotierstoff | Stickstoff |
Widerstand (RT) | 0,015 – 0,028 Ω·cm |
Oberflächenrauheit | < 0,5 nm (Si-Oberfläche CMP Epi-ready); <1 nm (optische C-Face-Politur) |
FWHM | A<30 Bogensekunden B/C/D <50 Bogensekunden |
Micropipe-Dichte | A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2 |
TTV/Bogen/Warp | <25 um |
Oberflächenorientierung | |
Auf Achse | <0001>± 0,5° |
Aus Achse | 4° oder 8° in Richtung <11-20>± 0,5° |
Primäre flache Ausrichtung | <11-20>±5,0° |
Primäre flache Länge | 22,22 mm ± 3,17 mm 0,875″±0,125″ |
Sekundäre flache Ausrichtung | Si-Fläche: 90° rechts. von der Ausrichtung flach ± 5° |
C-Fläche: 90° gegen den Uhrzeigersinn. von der Ausrichtung flach ± 5° | |
Sekundäre flache Länge | 11,00 ± 1,70 mm |
Oberflächenfinish | Ein- oder doppelseitig poliert |
Verpackung | Einzelwaffelbox oder Multiwaffelbox |
Kratzer | Keiner |
Nutzfläche | ≥ 90% |
Kantenausschluss | 2mm |
1.3 4H N TYPE SIC 4″ WAFER-SPEZIFIKATION
Substrateigentum | S4H-76-N-PWAM-330 S4H-76-N-PWAM-430 |
Beschreibung | A/B Produktionsqualität C/D Forschungsqualität D Dummy-Qualität 4H SiCSubstrat |
Polytype | 4H |
Durchmesser | (76,2 ± 0,38) mm |
Dicke | (350 ± 25) μm (430 ± 25) μm |
Trägertyp | n-Typ |
Dotierstoff | Stickstoff |
Widerstand (RT) | 0,015 – 0,028 Ω·cm |
Oberflächenrauheit | < 0,5 nm (Si-Oberfläche CMP Epi-ready); <1 nm (optische C-Face-Politur) |
FWHM | A<30 Bogensekunden B/C/D <50 Bogensekunden |
Micropipe-Dichte | A+≤1cm-2 A≤10cm-2 B≤30cm-2 C≤50cm-2 D≤100cm-2 |
TTV/Bogen/Warp | <45 um |
Oberflächenorientierung | |
Auf Achse | <0001>± 0,5° |
Aus Achse | 4° oder 8° in Richtung <11-20>± 0,5° |
Primäre flache Ausrichtung | <11-20>±5,0° |
Primäre flache Länge | 32,50 mm ± 2,00 mm |
Sekundäre flache Ausrichtung | Si-Fläche: 90° rechts. von der Ausrichtung flach ± 5° |
C-Fläche: 90° gegen den Uhrzeigersinn. von der Ausrichtung flach ± 5° | |
Sekundäre flache Länge | 18,00 ± 2,00 mm |
Oberflächenfinish | Ein- oder doppelseitig poliert |
Verpackung | Einzelwaffelbox oder Multiwaffelbox |
Kratzer | Keiner |
Nutzfläche | ≥ 90% |
Kantenausschluss | 2mm |
PAM-XIAMEN kann außerdem die folgenden Spezifikationen anbieten:
4H N Typ SiC-Substrat, 5 mm x 5 mm, 10 mm x 10 mm WAFER-SPEZIFIKATION: Dicke: 330 μm/430 μm
4H N-Typ SiC-Dünnfilm, 15 mm x 15 mm, 20 mm x 20 mm WAFER-SPEZIFIKATION: Dicke: 330 μm/430 μm
A-Plane-SiC-Wafer, Größe: 40 mm * 10 mm, 30 mm * 10 mm, 20 mm * 10 mm, 10 mm * 10 mm, Spezifikationen unten:
SiC-Wafer vom Typ 4H N, Dicke: 330 μm/430 μm oder kundenspezifisch
2. Über 4H-SiC-Eigenschaften
2.1 4H-SiC-Eigenschaften VS. 6H-SiC-Eigenschaften
Polytype | Einkristall 4H | Einkristall 6H |
Gitterparameter | a = 3,076 Å | a = 3,073 Å |
c = 10,053 Å | c = 15,117 Å | |
Stapelreihenfolge | ABCB | ABCACB |
Bandabstand | 3.26 eV | 3.03 eV |
Dichte | 3,21 · 103 kg/m3 | 3,21 · 103 kg/m3 |
Therm. Expansionskoeffizient | 4-5 × 10-6 / K | 4-5 × 10-6 / K |
Brechungsindex | no = 2,719 | no = 2,707 |
ne = 2,777 | ne = 2,755 | |
Dielektrizitätskonstante | 9.6 | 9.66 |
Wärmeleitfähigkeit | 490 W / mK | 490 W / mK |
Zusammenbruch des elektrischen Feldes | 2-4 · 108 V/m | 2-4 · 108 V/m |
Sättigungsdriftgeschwindigkeit | 2,0 · 105 m/s | 2,0 · 105 m/s |
Elektronenmobilität | 800 cm2/V·S | 400 cm2/V·S |
Loch Mobilität | 115 cm2/V·S | 90 cm² / V · S. |
Mohs-Härte | ~9 | ~9 |
2.2 Optische Eigenschaften von SiC-Wafern vom Typ 4H N
Der Brechungsindex von 4H SiC nimmt mit zunehmender Wellenlänge ab:
Die 4H-SiC-Bandlücke nimmt ab, wenn die Temperatur steigt:
2.3 4H-SiC-Substarte-Wärmeeigenschaften
Die Wärmeleitfähigkeit von 4H SiC ändert sich mit der Temperatur. Wenn die Temperatur niedrig ist (etwa 40℃), steigt die Wärmeleitfähigkeit des SiC-Wafers vom Typ 4H N; Wenn die Temperatur jedoch über 40℃ liegt, beginnt sie langsam zu sinken:
Für weitere Informationen kontaktieren Sie uns bitte per E-Mail untervictorchan@powerwaywafer.com und powerwaymaterial@gmail.com.