Hemos producido con éxito y que se caracteriza delgada cristal individual películas de Ge sobre sustratos de zafiro (GEOS). Tal GEOS plantilla de ofrece una alternativa rentable a los sustratos de germanio a granel para aplicaciones donde se necesita solamente una delgada (<2 m) capa de Ge para el funcionamiento del dispositivo. Las plantillas de GEOS se han realizado utilizando el Smart CutTMtécnica. 100 mm de diámetro GEOS las plantillas se han fabricado y caracterizado comparar la Ge propiedades de película delgada con mayor Ge. Para examinar los defectos de superficie, SEM, AFM, defecto de grabado, difracción de rayos X y espectroscopia Raman fueron realizados. Los resultados obtenidos para cada técnica de caracterización utilizado han puesto de manifiesto que las propiedades del material de la película delgada Ge transferido estaban muy cerca de los de una mayor referencia Ge. Un AlGaInP / GaInP / AlGaInP heteroestructura doble epitaxial se cultivó encima de las GEOS plantilla para demostrar la estabilidad de la plantilla bajo las condiciones encontradas en la realización dispositivo típico. El comportamiento fotoluminiscente de esta estructura epitaxial era casi idéntica a la de una estructura similar crecido sobre un sustrato de Ge a granel. Por tanto, las plantillas GEOS ofrecen una alternativa viable a granel sustratos Ge en la fabricación de dispositivos cuyo funcionamiento es compatible con una estructura de película delgada.
Fuente: IOPscience
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