Các tấm kim cương từ PAM-XIAMEN là các sản phẩm ở quy mô tấm mỏng được sử dụng để khai thác tiềm năng to lớn của các vật liệu kim cương, chẳng hạn như thử nghiệm hình ảnh học, các ứng dụng xử lý quy mô nano độc đáo và phát triển MEMS. Trong thị trường tấm kim cương hiện tại, có ba loại tấm kim cương cấp, tấm kim cương cấp Vi điện tử, tấm lát và tấm lát diamand Cấp nhiệt và tấm lát kim cương Cấp quang học:
1. Wafer kim cương cấp vi điện tử cho WaferFsự mài mòn
Các tấm wafer có thể được thực hiện thử nghiệm với các đặc tính đáng chú ý của kim cương, và các thông số kỹ thuật, như tính nhất quán của hiệu suất, cung và độ dày, đáp ứng các yêu cầu của cấp wafer cơ bản, có thể làm cho việc cắt lát wafer dây kim cương chèn trực tiếp vào quy trình đúc MEMS.
Chất nền tổng hợp được chuẩn bị bởi màng kim cương mỏng / chất nền không đồng nhất không chỉ có hiệu suất dẫn nhiệt cao của kim cương mà còn làm giảm chi phí của màng kim cương dày, có thể được sử dụng trực tiếp cho chất nền biểu mô của vật liệu bán dẫn có khoảng cách vùng cấm rộng và sự tăng trưởng của vật liệu. Yếu tố tản nhiệt được xét trực tiếp từ chính vật liệu biểu mô, đây cũng là một hướng phát triển chính của các thiết bị bán dẫn trong tương lai. Các vật liệu wafer bán dẫn đều đang phát triển ở dạng wafer kích thước lớn, đòi hỏi vật liệu wafer đơn tinh thể kim cương phải có kích thước lớn và chất lượng cao. Đồng thời, hiệu suất tản nhiệt tuyệt vời có thể làm cho thiết bị hoạt động tốt hơn.
1.1 Đặc điểm kỹ thuật của Wafer kim cương cấp vi điện tử
Wafer kim cương đa tinh thể số 1
| Diamond Wafer | Kim cương đa tinh thể |
| Phương pháp phát triển | MPCVD |
| Độ dày Wafer | 0 ~ 500um +/- 25um |
| Kích thước Wafer | 1 cm * 1 cm; 2 inch; phong tục |
| Độ nhám bề mặt Surface | Ra <1 nm |
| FWHM （D111） | 0.354 |
| Hệ số giãn nở nhiệt | 1,3 × 10 ^ -6 K ^ -1 |
| Dẫn nhiệt | > 1000 W / mK |
| Mục | Viên kim cương quy mô Wafer | |
| Độ dày | 100um | 300um |
| phương pháp tăng trưởng | MPCVD | MPCVD |
| Kích thước | 2 inch | 2 inch |
| Độ nhám bề mặt của bề mặt tăng trưởng | <1nm Ra | <1nm Ra |
| Làm cong | 50um | 30um |
| FWHM (D111) | 0,354 (D111) | 0,354 (D111) |
| Hệ số giãn nở nhiệt | 1,3 (10-6K-1) | 1,3 (10-6K-1) |
| Độ dẫn nhiệt (TC)
Phương pháp phát hiện TDTR |
1500 ± 200 W / mK
(13 lần quét với kích thước điểm khác nhau) |
1500 ± 200 W / mK
(13 lần quét với kích thước điểm khác nhau) |
1.2 Quy trình sản xuất Wafer kim cương cấp vi điện tử
1.3 XRD Spectra của 2 inch CVD Diamond Wafer
Định hướng các mặt tinh thể chính của màng kim cương CVD là mặt phẳng (111).
1.4 Phổ Raman của Wafer kim cương CVD 2 inch
Chỉ có một đỉnh kim cương duy nhất ở 1333,48 cm-1.
Ảnh hiển vi 1,5 SEM (× 1k) của tấm kim cương Wafer 2 inch sau khi đánh bóng thô
1.6 Ảnh hiển vi AFM của tấm Diamond Wafer 2 inch sau khi đánh bóng thô
Ảnh Ra = 137 nm với vùng quét 5 × 5 μm2.
1.7 Ảnh hiển vi SEM (× 1k) của Wafer kim cương đa tinh thể 2 inch sau khi đánh bóng hoàn thiện
1.8 Ảnh hiển vi AFM của tấm Diamond Wafer 2 inch sau khi đánh bóng hoàn thiện
Ảnh Ra = 0,278 nm với vùng quét 5 × 5 μm2.
Ảnh Ra = 0,466 nm với vùng quét 15 × 15 μm2.
1.9 Kết quả EDS cho phim được đánh bóng
Nội dung của các nguyên tố trên khu vực được đánh bóng đều là carbon. Không bị nhiễm kim loại từ tấm đánh bóng.
1.10 Kết quả XPS cho phim được đánh bóng
2. Tấm lát và tấm lót Diamand lớp nhiệt
Kim cương thể hiện tính dẫn nhiệt cao nhất trong số tất cả các vật liệu. Độ dẫn nhiệt của nó lên đến 2000 W / mK, cao hơn rất nhiều so với đồng. Do đó, wafer cắt dây kim cương và lát cắt ngày càng trở nên phổ biến hơn trong quản lý nhiệt như bộ tản nhiệt, tản nhiệt, kim loại hóa có hoa văn thạch học, cách ly điện giữa kim loại hóa trên và dưới, khe giảm ứng suất để lắp không có ứng suất, v.v.
CVD tản nhiệt kim cương trong hình dạng khác nhau, và các thông số đặc trưng như sau:
| Mục | Giá trị |
| Đường kính | 80mm, hoặc kích thước nhỏ như 5 * 5mm2 |
| Độ dày có sẵn | 0,3mm |
| Dung sai độ dày | ﹢/- 0,02mm |
| Quá trình | DC Arc Plasma |
| Kết cấu | Đa tinh thể |
| Thành phần hóa học | 100% C |
| Mật độ | 3,52 g / cm³ |
| Tỷ lệ Poisson | 0.1 |
| mô đun Young | 1000-1100 Gpa |
| Dẫn nhiệt | C> 1.000 W / mK, B> 1300W / mK, A> 1800W / mK |
| Sức căng | > 350 kg / mm² |
| Độ cứng Vickers | 7000 ~ 10000 kg / mm² |
| Cường độ nén | ＞ 110GPa |
| Ổn định nhiệt | 800 ℃ |
| Khả năng chống mài mòn (tỷ lệ mài mòn) | 100.000 ~ 200.000 |
| Ổn định hóa học | Không hòa tan trong kiềm và axit |
| Bề mặt hoàn thiện được đánh bóng | ＜ 50 nm |
| Hoàn thiện bề mặt | ＜ 0,5 um |
3. Wafer kim cương lớp quang học
Các tấm kim cương cấp quang học được sử dụng làm cửa sổ cho bộ tách chùm tia hồng ngoại, thấu kính cho quang phổ terahertz và phẫu thuật laser CO2, Brewster Windows cho các ứng dụng đa quang phổ như laser điện tử tự do, laser hồng ngoại đa bước sóng hoặc hệ thống quang học terahertz, cho phản xạ toàn phần suy giảm đơn vị ) quang phổ, cho Tế bào chất lỏng kim cương. Dưới đây là bảng dữ liệu của tấm kim cương ở cấp độ quang học để bạn tham khảo:
| Tham số | Wafer kim cương lớp quang học | ||
| Kích thước | (3 ~ 50) ± 1 mm | ||
| Độ dày | (100 ~ 600) ± 30 um | ||
| Quy trình bề mặt | Đánh bóng cả hai mặt | ||
| Sự thô ráp | A <5 nm | B <10 nm | C <30 nm |
Biểu đồ sau đây cho thấy tốc độ truyền chất nền kim cương cấp quang học:
Tốc độ truyền của Diamond Wafer
Nguồn: PAM-Hạ Môn
Để biết thêm thông tin, vui lòng liên hệ với chúng tôi qua emailvictorchan@powerwaywafer.comvàpowerwaymaterial@gmail.com