¿Cómo se fabrican las obleas de carburo de silicio?

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¿Cómo se fabrican las obleas de carburo de silicio?

El carburo de silicio (SiC) es un material semiconductor compuesto por elementos de carbono y silicio, y se denomina material semiconductor de banda prohibida ancha porque la banda prohibida es superior a 2,2 eV.PAM-XIAMEN puede proporcionar obleas de SiC de tipo N y semiaislantes. Más especificaciones de la oblea de SiC, visitehttps://www.powerwaywafer.com/sic-wafer.

¿Cómo se fabrican las obleas de SiC? Puedes seguir el enlacehttps://youtu.be/HeSXVKLj8kgpara ver el video del proceso de fabricación.

En primer lugar, utilice polvo de silicio de alta pureza y polvo de carbono de alta pureza como materia prima para cultivar monocristales de SiC mediante transporte físico de vapor (PVT).

En segundo lugar, use un equipo de corte en cubitos de cables múltiples para cortar el cristal de SiC en rodajas finas con un grosor de no más de 1 mm.

En tercer lugar, las obleas se muelen a la planitud y rugosidad deseadas a través de una suspensión de diamante de diferentes tamaños de partículas.

En cuarto lugar, las obleas de SiC se someten a pulido mecánico y pulido mecánico químico para obtener obleas pulidas de SiC con superficie de espejo.

Luego, use microscopios ópticos y otros instrumentos para detectar la densidad de microtubos, la rugosidad de la superficie, la resistividad, la deformación, el TTV, los rayones en la superficie y otros parámetros de las obleas de SiC.

Finalmente, las obleas pulidas de SiC se limpian con un agente de limpieza y agua pura para eliminar los contaminantes de la superficie, como el líquido de pulido, y luego las obleas se soplan y se secan con gas nitrógeno de ultra alta pureza y una máquina secadora.

Después de eso, use la deposición de vapor químico y otros métodos para generar obleas epitaxiales de SiC en sustratos y, finalmente, haga dispositivos relacionados.

Debido a sus propiedades físicas superiores: alta brecha de banda, alta conductividad eléctrica, alta conductividad térmica, las obleas de SiC se utilizan ampliamente en comunicaciones 5G, redes inteligentes, vehículos de nueva energía, trenes de alta velocidad y otros campos, y tienen un gran potencial de mercado.

Para obtener más información, contáctenos por correo electrónico avictorchan@powerwaywafer.com y powerwaymaterial@gmail.com.

2022-08-17

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