テストウェーハモニターウェーハダミーウェハ

テストウェーハモニターウェーハダミーウェハ

ダミーウェーハメーカーとして、PAM-XIAMENはシリコーンダミーウェーハ/テストウェーハ/モニターウェーハを提供しています。これは、製造プロセスの初期の安全性を向上させるために製造装置で使用され、プロセスフォームの納品チェックと評価に使用されます。 ダミーのシリコンウェーハは実験やテストによく使用されるため、ほとんどの場合、そのサイズと厚さが重要な要素になります。 100mm、150mm、200mm、または300mmのダミーウェーハが利用可能です。

  • 説明

製品の説明

テストウェーハモニターウェーハダミーウェハ

ダミーウェーハメーカーとして、PAM-XIAMENはシリコーンダミーウェーハ/テストウェーハ/モニターウェーハを提供しています。これは、製造プロセスの初期の安全性を向上させるために製造装置で使用され、プロセスフォームの納品チェックと評価に使用されます。 ダミーのシリコンウェーハは実験やテストによく使用されるため、ほとんどの場合、そのサイズと厚さが重要な要素になります。 100mm、150mm、200mm、または300mmのダミーウェーハが利用可能です。

 

1. Test Wafer List

1.1 Single Side Polished Test Wafer N Type (200Nos)

SLはありません 項目 SCL仕様
1 成長する方法 CZ
2 ウェーハの大口径 150±0.5ミリメートル
3 ウェーハ厚さ 675±25ミクロン
4 ウェハ表面オリエンテーション <100>±2℃
5 ドーパント リン
6 転位密度 未満5000 / cm2で
8 抵抗率 4-7Ωcm
9 ラジアル抵抗変化(最大) 15%
10 扁平  
図10A ・BOW(最大) 60ミクロン
図10B ・TIR(最大) 6ミクロン
図10C ・TAPER(最大) 12ミクロン
10D ・WARP(最大) 60ミクロン
11 プライマリフラット  
11aを ・長さ 57.5±2.5ミリメートル
11B ・ オリエンテーション {110} SEMI規格通りの±2°
11C セカンダリフラット SEMI規格ごととして
12 フロント表面仕上げ 鏡面研磨
13 マックス。 サイズ≥0.3μmの粒子 30
14 ・傷、ヘイズ、エッジチップ、オレンジピール&その他の欠陥 無記号
15 裏面 ダメージ自由をエッチング
16 梱包要件 真空二層packing.Wafersにクラスの10'environment内に密封されなければならないがFluorware ORIONに2つのウエハ荷主やウルトラクリーンなポリプロピレン製の同等のメイクを出荷する必要があります

 

1.2 Double Side Polished Test Wafer N Type (150 Nos)

SLはありません アイテム SCL仕様
1 成長する方法 CZ
2 ウェーハの大口径 150±0.5ミリメートル
3 ウェーハ厚さ 675±25μmでの
4 ウェハ表面オリエンテーション <100>±2℃
5 ドーパント リン
6 転位密度 未満5000 / cm2で
8 抵抗率 4-7Ωcm
9 ラジアル抵抗変化(最大) 15%
10 扁平  
図10A ・BOW(最大) 60ミクロン
図10B ・TIR(最大) 6ミクロン
図10C ・TAPER(最大) 12ミクロン
10D ・WARP(最大) 60ミクロン
11 プライマリフラット  
11aを ・長さ 57.5±2.5ミリメートル
11B ・ オリエンテーション {110} SEMI規格通りの±2°
11C セカンダリフラット SEMI規格ごととして
12 フロント表面仕上げ 鏡面研磨
13 マックス。 サイズ≥0.3μmの粒子 30
14 ・傷、ヘイズ、エッジチップ、 無記号
オレンジピール&その他の欠陥
15 裏面 鏡面研磨
16 梱包要件 真空は、クラス「10」内に密封されなければなりません
environment in double layer packing.
Wafers should be shipped in Fluorware
ORION TWO wafer shippers or equivalent
make made from ultra clean polypropylene

 

1.3 Monitor Wafer/ダミーウエハ

モニター/ダミーシリコンウェハ

ウェーハの大口径 ポリッシュ ウェハ表面 ウェーハ厚さ 抵抗率 粒子
方向付け
4 " 1辺 111分の100 250-500μm 0-100 0.2μm≤qty30
6 " 1辺 100 500-675μm 0-100 0.2μm≤qty30
8 " 1辺 100 600-750μm 0-100 0.2μm≤qty30
12 " 2側 100 650-775μm 0-100 0.09μm≤qty100

 

1.4 REGENERATED 200mm WAFERS

項目# PARAMETER 単位 注釈
1 成長方法   CZ  
2 方向付け   1-0-0  
3 抵抗率 Ωм.см 1-50  
4 タイプ/ドーパント   р、N /  
ホウ素、リン
5 厚さ мкм 1гр。 - 620、  
2гр。 - 650
3гр。 - 680
4гр。 - 700
5гр。 - 720
6 GBIR(TTV мкм 1-3гр。 <30、  
4-5гр。 <20
7 GLFR(TIR мкм <10  
8 ワープ мкм <60  
9 мкм <40  
10 金属汚染 1 /см2 <3E10  
11 前面   ポリッシュ  
12 視覚的な前面:      
ヘイズ、傷、汚れ、スポット   なし
オレンジの皮   なし
クラック、クレーター   なし
13 フロントサイドLPD:     述べたパラメータ値を有するウエハの数は、バッチの80%以上であるべきです
<0,12мкм   <100
<0,16мкм   <50
<0,20мкм   <20
<0,30мкм   <10

 

1.5 Coinroll Silicon Wafer

 Spec : 12” , Bare Silicon, Thickness >750um , Notch , Slight scratch and stain that we will process IPA , DI water with Ultra sonic. (PAM171117-SI)

2. Dummy Wafer Definition

Dummy wafer (also called as test wafers) is a Si dummy wafer mainly used for experiment and test and being different from general wafers for product. Accordingly, reclaimed wafers are mostly applied as dummy grade wafers (テストウェーハ).

In each process, film thickness, pressure resistance, reflection index and presence of pinball are measured using dummy Si wafer(test wafer). Also, dummy wafers (test wafers) are used for measurement of pattern size, check of defect and so on in lithography.

モニタウェーハ are the bare silicon wafers to be used in the case that an adjustment is required in each production step prior to the actual IC production. For example, when the conditions of each process are set, such as the case of measuring tolerance of device against ( the variation of ) substrate thickness, coinroll silicon wafers for spacer wafers are being used as a substitution of high-standard and high value wafers. Moreover, they are also used for the monitoring purpose in the process together with product wafers. Monitor wafers are necessary wafer materials as important as product prime wafers. They are also called as test wafers together with dummy wafers.

より多くの製品の詳細については、またはあなたが仕様を必要としている場合、[email protected]または[email protected]までお問い合わせください。

テストグレードシリコンウェーハ-1

テストグレードシリコンウェーハ-2

テストグレードシリコンウェーハ-3

試験グレードのシリコンウェーハ-4

テストグレードシリコンウェーハ-5

試験グレードのシリコンウェーハ-6

テストグレードシリコンウェーハ-7

テストグレードシリコンウェーハ-8

テストグレードシリコンウェーハ-9

テストグレードシリコンウェーハ-10

テスト用シリコンウェーハ-11

8″ Dummy Grade Silicon Wafer

12″ Dummy Grade Silicon Wafer Thickness 700-730um

12″ Dummy Grade Silicon Wafer Thickness 650-700um

12「テストグレードシリコンウエハ

4″ Test Grade Silicon Wafers with Single Side Polished

12”Dummy wafer

あなたも好きかも...