Алмазные пластины от PAM-XIAMEN представляют собой продукты в виде пластин, которые используются для раскрытия огромного потенциала алмазных материалов, таких как трибологические испытания, уникальные приложения для обработки в наномасштабе и разработка МЭМС. На текущем рынке алмазных пластин есть алмазные пластины трех сортов, алмазные пластины класса микроэлектроники, алмазные пластины и срезы термического класса и алмазные пластины оптического класса:

1. Алмазная пластина класса микроэлектроники для Wафер Fабрикация

Пластины можно экспериментировать с замечательными свойствами алмаза, а характеристики, такие как постоянство характеристик, изгиб и толщина, соответствуют характеристикам базового уровня пластин, что позволяет использовать алмазную проволоку для нарезки пластин непосредственно в литейный процесс МЭМС.

Композитная подложка, изготовленная из тонкой алмазной пленки/гетерогенной подложки, не только обладает высокими показателями теплопроводности алмаза, но также снижает стоимость толстой алмазной пленки, которую можно непосредственно использовать для эпитаксиальной подложки полупроводникового материала с широкой запрещенной зоной и рост материалов. Коэффициент рассеивания тепла напрямую учитывается в самом эпитаксиальном материале, что также является основным направлением развития полупроводниковых устройств в будущем. Все материалы полупроводниковых пластин развиваются в виде пластин большого размера, что требует, чтобы материал монокристаллической алмазной пластины был большого размера и высокого качества. В то же время отличные характеристики рассеивания тепла могут повысить производительность устройства.

1.1 Спецификация алмазной пластины для микроэлектроники

Поликристаллическая алмазная пластина № 1

Алмазная вафля	Поликристаллический алмаз
Метод роста	MPCVD
Толщина пластины	0 ~ 500 мкм +/- 25 мкм
вафли Размер	1 см * 1 см; 2 дюйма; обычай
Шероховатость поверхности	Ra <1 нм
ПШПМ (D111)	0.354
Коэффициент температурного расширения	1,3×10^-6 К^-1
Теплопроводность	>1000 Вт/мК

 1.2 Производственный процесс алмазной пластины для микроэлектроники

1.3 XRD-спектры 2-дюймовой алмазной пластины CVD

Ориентация граней первичного кристалла CVD-алмазных пленок представляет собой плоскость (111).

1.4 Спектры комбинационного рассеяния 2-дюймовой алмазной пластины CVD

Имеется только один пик алмаза при 1333,48 см-1.

1,5 SEM-микрофотографии (× 1k) 2-дюймовой алмазной пластины после грубой полировки

1.6 Микрофотографии АСМ 2-дюймовой алмазной пластины после грубой полировки

Изображение Ra = 137 нм при площади сканирования 5×5 мкм2.

1.7 СЭМ-микрофотографии (× 1k) 2-дюймовой поликристаллической алмазной пластины после окончательной полировки

1.8 Микрофотографии АСМ 2-дюймовой алмазной пластины после окончательной полировки

Изображение Ra = 0,278 нм при площади сканирования 5×5 мкм2.

Изображение Ra = 0,466 нм при площади сканирования 15×15 мкм2.

1.9 Результаты EDS для полированных пленок

Содержание элементов на полированной поверхности полностью углеродное. Нет загрязнения металла от полировальной пластины.

1.10 Результаты XPS для полированных пленок

2. Пластины и пластины Diamand термического класса

Алмаз обладает самой высокой теплопроводностью среди всех материалов. Его теплопроводность достигает 2000 Вт/мК, что намного выше, чем у меди. Таким образом, пластины и пластины, вырезанные алмазной проволокой, становятся все более и более популярными в области управления температурным режимом в качестве теплоотводов, радиаторов, металлизации с литографическим рисунком, электрической изоляции между верхней и нижней металлизацией, прорезей для снятия напряжения для монтажа без напряжения и т. д.

CVD алмаза распределители тепла в различных формах, а также типичные параметры следующие:

Пункт	Значение
Диаметр	80 мм или небольшой размер, например 5*5 мм2
Доступная толщина	0.3mm
Допуск по толщине	﹢/- 0,02 мм
Процесс	Дуговая плазма постоянного тока
Состав	Поликристаллический
Химический состав	100% С
Плотность	3,52 г / см³
коэффициент Пуассона	0.1
Модуль для младших	1000-1100 ГПа
Теплопроводность	C>1000 Вт/мК, B>1300 Вт/мК,A>1800 Вт/мК
Предел прочности	>350 кг/мм²
Твердость по Виккерсу	7000~10000 кг/мм²
Прочность на сжатие	＞ 110ГПа
Термическая стабильность	800 ℃
Износостойкость (коэффициент истирания)	100 000~200 000
Химическая стабильность	Нерастворим в щелочи и кислоте
Поверхность полированная	＜ 50 нм
Поверхностная обработка притерта	＜ 0,5 мкм

3. Алмазная пластина оптического класса

Алмазные пластины оптического качества используются в качестве окон для разделителей инфракрасного луча, линз для терагерцовой спектроскопии и лазерной хирургии на CO2, окон Брюстера для мультиспектральных приложений, таких как лазеры на свободных электронах, многоволновые ИК-лазеры или терагерцовые оптические системы, для устройств ослабленного полного отражения. ) спектроскопия для алмазных жидких ячеек. Ниже приведено техническое описание алмазной пластины на оптическом уровне для справки:

параметр	Алмазная пластина оптического класса
Размер	(3~50)±1 мм
Толщина	(100~600)±30 мкм
Поверхностный процесс	Полировка с обеих сторон
Шероховатость	A <5 нм	B <10 нм	C <30 нм

 

На следующей диаграмме показана скорость передачи алмазной подложки оптического качества:

Скорость передачи алмазной пластины

Источник: PAM-СЯМЫНЬ

Алмазный радиатор

 

 

 

 

 

Для получения дополнительной информации, пожалуйста, свяжитесь с нами по электронной почте по адресуvictorchan@powerwaywafer.comа такжеpowerwaymaterial@gmail.com