Эпитаксиальный кремний вафельный
Кремниевая эпитаксиальная пластина (Epi Wafer) представляет собой слой эпитаксиального монокристалла кремния, нанесенного на монокристаллическую кремниевую пластину (примечание: можно вырастить слой поликристаллического кремниевого слоя поверх высоколегированной монокристаллической кремниевой пластины, но это требуется буферный слой (например, оксид или поли-Si) между объемной подложкой Si и верхним эпитаксиальным слоем кремния.Он также может использоваться для тонкопленочных транзисторов.
- Описание
Описание продукта
Эпитаксиальный кремний вафельный
Кремний эпитаксиальных вафли(Эпи вафли)представляет собой слой эпитаксиального монокристалла кремния, нанесенный на монокристаллкремниевая пластина(примечание: можно вырастить слой поликристаллического кремния поверх высоколегированной монокристаллической кремниевой пластины, но для этого требуется буферный слой (например, оксид или поли-кремний) между подложкой объемного кремния и верхним эпитаксиальным слоем. Слой кремния.Его также можно использовать для тонкопленочных транзисторов.
Методы изготовления эпитаксиальных кремниевых пластин включают газофазную эпитаксию, жидкофазную эпитаксию, молекулярно-пучковую эпитаксию и так далее. Среди них газофазная эпитаксия на основе химического осаждения из паровой фазы (CVD) является основным процессом эпитаксиального роста кремния. Обычно используемыми источниками являются SiCl4, SiHCl3, SiH2Cl2 и SiH4.
Чтобы удовлетворить потребности различных полупроводниковых устройств, были созданы различные кремниевые эпитаксиальные технологии для производства эпитаксиальных кремниевых пластин. В дополнение к эпитаксиальному росту кремния при низкотемпературной эпитаксии и эпитаксии при пониженном давлении существует также селективная эпитаксия, при которой эпитаксиальный слой кремния наносится на определенную часть кремниевой пластины.
Эпитаксиальный слой может быть легирован, так как она осаждается, точная концентрация легирующей примеси, продолжая кристаллическую структуру подложки в.
Эпислоя сопротивление: <1 Ом · см до 150 Ом-см
Эпиаяся толщина: <1 мкм до 150 мкм
Структура: N / N +, N / N / N + N / P / N +, N / N + / P-, Н / Р / Р +, Р / Р +, Р- / Р / Р +.
Вафли Применение: Digital, Linear, мощность, MOS, BiCMOS устройства.
Наши преимущества на первый взгляд
1.Усовершенствованное эпитаксиальное оборудование для выращивания, испытательное оборудование и технология эпитаксиального кремния.
2.Offer самого высокого качества с низкой плотностью дефектов и хорошей шероховатостью поверхности.
3.Strong поддержки научно-исследовательской группы и технической поддержки для наших клиентов
6 "(150 мм) Вафли спецификации:
| Пункт | Спецификация | |
| подложка | Sub спецификации No. | |
| Слиток способ выращивания | CZ | |
| Тип проводимости | N | |
| добавка | В виде | |
| Ориентация | (100) ± 0,5 ° | |
| удельное сопротивление | ≤0.005Ohm.cm | |
| RRG | ≤15% | |
| [OI] Содержание | 8 ~ 18 PPMA | |
| Диаметр | 150 ± 0,2 мм | |
| Первичная плоская Длина | 55 ~ 60 мм | |
| Первичное плоское Расположение | {110} ± 1 ° | |
| Во-вторых Плоская Длина | пол | |
| Во-вторых Квартира Расположение | пол | |
| Толщина | 625 ± 15 мкм | |
| Оборотная Характеристики: | ||
| 1, BSD / поли-Si (А) | 1.BSD | |
| 2, SIO2 | 2.LTO: 5000 ± 500 А | |
| 3, Край отчуждения | 3.EE:?0.6 мм | |
| Лазерная маркировка | ОТСУТСТВУЕТ | |
| передняя поверхность | Зеркальная полировка | |
| Epi | Состав | N / N + |
| добавка | Фос | |
| Толщина | 3 ± 0,2 мкм | |
| Thk.Uniformity | ≤5% | |
| Измерение положения | Центр (1 балл) 10 мм от края (4 балла @ 90 градусов) | |
| Расчет | [Tmax-Tmin] ÷ [[Tmax + Tmin] & bull; 100% | |
| удельное сопротивление | 2,5 ± 0,2 Ohm.cm | |
| Res.Uniformity | ≤5% | |
| Измерение положения | Центр (1 балл) 10 мм от края (4 балла @ 90 градусов) | |
| Расчет | [Rmax-Rmin] ÷ [[Rmax + Rmin] х 100% | |
| Стек Плотность вина | ≤2 (еа / см2) | |
| Мгла | ОТСУТСТВУЕТ | |
| Царапины | ОТСУТСТВУЕТ | |
| Кратеры, апельсиновая цедра, | ОТСУТСТВУЕТ | |
| Край Crown | ≤1 / 3 толщины Эпи | |
| Скольжение (мм) | Общая длина ≤ 1Dia | |
| Инородное вещество | ОТСУТСТВУЕТ | |
| Назад поверхности Загрязнения | ОТСУТСТВУЕТ | |
| Общее количество точечных дефектов (частиц) | ≤30@0.3um |
4-дюймовая кремниевая пластина EPI-6
4-дюймовая эпитаксиальная кремниевая пластина
Эпитаксия кремния с легирующей примесью бора методом VPE
Эпитаксическая кремниевая пластина для интегрированной волноводной оптики
Вам также может понравиться ...
-
GaN шаблоны
PAM-СЯМЫНЬ в Шаблонные продукты состоят из кристаллических слоев нитрида галлия (), шаблоны GaN (нитрид алюминия) шаблона AlN, (алюминий нитрида галлия) шаблонов AlGaN и (индия нитрида галлия) шаблонов InGaN, которые осаждаются на сапфире -
Float-Zone монокристаллического кремния
PAM-XIAMEN может предложить кремниевые пластины с плавающей зоной, полученные методом Float Zone. Монокристаллические кремниевые стержни получают путем выращивания в зоне плавания, а затем перерабатывают монокристаллические кремниевые стержни в кремниевые пластины, называемые кремниевыми пластинами зоны плавания. Поскольку кремниевая пластина зонного расплава не контактирует с кварцевым тиглем во время процесса плавления кремния в зоне, кремниевый материал находится во взвешенном состоянии. Тем самым он меньше загрязняется в процессе зонной плавки кремния. Содержание углерода и кислорода ниже, примесей меньше, а удельное сопротивление выше. Он подходит для изготовления силовых устройств и некоторых высоковольтных электронных устройств.
-
Полированный вафельные
PAM-XIAMEN может предложить полированные пластины типа n или p с ориентацией <100>, <110> или <111>. Полированные пластины FZ, в основном для производства кремниевого выпрямителя (SR), кремниевого управляемого выпрямителя (SCR), гигантского транзистора (GTR), тиристора (GRO)
-
GaAs Epiwafer
PAM-XIAMEN производит различные типы полупроводниковых материалов n-типа n-типа, легированных кремнием, на основе Ga, Al, In, As и P, выращенных методами MBE или MOCVD. Мы поставляем изготовленные на заказ структуры эпивафер GaAs в соответствии со спецификациями клиентов. Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительной информации.
-
Cz монокристаллического кремния
PAM-XIAMEN, производитель монокристаллического кремния, может предложить пластины монокристаллического кремния <100>, <110> и <111> с легирующей примесью N&P размером 76,2~200 мкм, выращенные методом CZ. Метод Чохральского — это метод выращивания кристаллов, называемый методом CZ. Он интегрируется в прямотрубную систему нагрева, нагревается графитовым сопротивлением, плавит поликремний, содержащийся в кварцевом тигле высокой чистоты, а затем вставляет затравочный кристалл в поверхность расплава для сварки. После этого вращающийся затравочный кристалл опускается и плавится. Тело проникают и трогают, постепенно приподнимают и заканчивают или вытягивают через этапы сужения, сужения, плеча, контроля одинакового диаметра и отделки.
-
Травление вафельные
Кремниевые пластины для травления, предлагаемые PAM-XIAMEN, представляют собой пластины для травления типа N или P, которые имеют низкую шероховатость, низкую отражательную способность и высокую отражательную способность. Пластина для травления имеет характеристики низкой шероховатости, хорошего глянца и относительно низкой стоимости и напрямую заменяет полированную пластину или эпитаксиальную пластину, которая имеет относительно высокую стоимость для производства электронных элементов в некоторых областях, что снижает затраты.
-
SiC эпитаксии
Мы предлагаем пользовательские тонкую пленку из карбида кремния (SiC) эпитаксии на 6H или 4H субстратов для развития карбида кремния устройств. SiC, эпите пластины в основном используются для диодов Шоттки, металлооксидных полупроводниковых полевых транзисторов, эффект перехода поля -
Тест Вафли Вафли монитор пустышки вафельные
Как производитель фиктивных пластин, PAM-XIAMEN предлагает силиконовые фиктивные пластины / тестовые пластины / контрольные пластины, которые используются в производственном устройстве для повышения безопасности в начале производственного процесса и используются для проверки доставки и оценки формы процесса. Так как макеты кремниевых пластин часто используются для экспериментов и испытаний, их размер и толщина являются важными факторами в большинстве случаев. Доступны макетные пластины диаметром 100 мм, 150 мм, 200 мм или 300 мм.
сопутствующие товары
-
12-дюймовая кремниевая пластина высшего качества
PAM-XIAMEN предлагает кремниевые пластины без покрытия диаметром 300 мм (12 дюймов) высшего сорта, типа n или p, а толщина кремниевых пластин 300 мм составляет 775 ± 15. По сравнению с другими поставщиками кремниевых пластин цена кремниевых пластин Powerway Wafer более конкурентоспособна при более высоком качестве. Кремниевые пластины диаметром 300 мм имеют более высокий выход на пластину, чем предыдущие кремниевые пластины большого диаметра.
-
12-дюймовые кремниевые пластины 300 мм TOX (кремниевая пластина термического окисления)
PAM-XIAMEN предлагает пластины из оксида кремния и диоксида кремния диаметром 300 мм. Кремниевая пластина с термическим оксидом или пластина из диоксида кремния представляет собой голую кремниевую пластину с оксидным слоем, выращенным в процессе сухого или влажного окисления. Термический оксидный слой кремниевой пластины обычно выращивают в горизонтальной трубчатой печи, а диапазон температур оксида кремниевой пластины обычно составляет 900 ℃ ~ 1200 ℃. По сравнению со слоем оксида CVD, слой оксида кремниевой пластины имеет более высокую однородность, лучшую компактность, более высокую диэлектрическую прочность и лучшее качество.
-
12-дюймовая кремниевая пластина тестового класса
PAM-XIAMEN предлагает фиктивные кремниевые пластины без покрытия диаметром 300 мм (12 дюймов), испытательный класс, тип n или тип p. По сравнению с другими поставщиками кремниевых пластин Powerway Wafer предлагает профессиональные услуги по конкурентоспособным ценам.
