Корпусная GaN-подложка
РАМ-СЯМЫНЬ установила технологии изготовления для автономных (нитрид галлия) GaN-подложка пластины, которая является для UHB-LED и LD. Выращенный по технологии гидридной эпитаксии из паровой фазы (HVPE), Наша GaN-подложка имеет низкую плотность дефектов.
- Описание
Описание продукта
Корпусная GaN-подложка
Являясь ведущим поставщиком подложек GaN, компания PAM-XIAMEN разработала технологию производства отдельно стоящих пластин (нитрид галлия).Пластина-подложка GaNкоторый представляет собой объемную подложку GaN для UHB-LED, LD и изготовления устройств на основе MOS. Наша продукция, выращенная по технологии гидридной парофазной эпитаксии (HVPE),GaN-подложкадля III-нитридных устройств имеет низкую плотность дефектов и меньшую или свободную плотность макродефектов. Толщина подложки GaN составляет 330~530 мкм.
Помимо силовых устройств, полупроводниковые подложки из нитрида галлия все чаще используются в производстве светодиодов белого света, поскольку подложки светодиодов GaN обеспечивают улучшенные электрические характеристики, а их производительность превосходит текущие устройства. Более того, быстрое развитие технологии подложек из нитрида галлия привело к разработке высокоэффективных свободных подложек GaN с низкой плотностью дефектов и плотностью свободных макродефектов. Следовательно, такие подложки GaN могут все чаще использоваться для белых светодиодов. В результате рынок объемных подложек GaN быстро растет. Кстати, объемную пластину GaN можно использовать для тестирования концепций устройств с вертикальным питанием.
1. Спецификация отдельно стоящей подложки GaN
Здесь показаны детали спецификации:
1.1 4-дюймовый GaN (нитрид галлия), легированный кремнием N-типа, отдельная подложка
Пункт | ПАМ-ФС-GaN100-N+ |
Проводимость Тип | Тип N/легированный Si |
Размер | 4″(100)+/-1мм |
Толщина | 480+/-50 |
Ориентация | С-ось (0001) +/- 0.5o |
Первичное плоское Расположение | (10-10)+/-0,5o |
Первичная плоская Длина | 32+/-1 мм |
Secondary Квартира Расположение | (1-210)+/-3o |
Вторичная плоская Длина | 18+/-1 мм |
Удельное сопротивление (300K) | <0.05Ω · см |
Вывих Плотность | <5x106cm-2 |
FWHM | <=100угл.сек. |
TTV | <= 30 мкм |
ЛУК | <=+/-30 мкм |
Чистота поверхности | Передняя поверхность: Ra <= 0,3 нм. Полированная, готовая к эпиляции. |
— | Задняя поверхность: 1. Тонкая шлифовка |
— | 2. Полированный. |
Полезная площадь | ≥ 90 % |
1,2 4″ N-типа, низколегированный GaN (нитрид галлия) Отдельно стоящая подложка
Пункт | ПАМ-ФС-GaN100-N- |
Проводимость Тип | Тип N |
Размер | 4″(100)+/-1мм |
Толщина | 480+/-50 |
Ориентация | С-ось (0001) +/- 0.5o |
Первичное плоское Расположение | (10-10)+/-0,5o |
Первичная плоская Длина | 32+/-1 мм |
Secondary Квартира Расположение | (1-210)+/-3o |
Вторичная плоская Длина | 18+/-1 мм |
Удельное сопротивление (300K) | <0.5Ω · см |
Вывих Плотность | <5x106cm-2 |
FWHM | <=100угл.сек. |
TTV | <= 30 мкм |
ЛУК | <=+/-30 мкм |
Чистота поверхности | Передняя поверхность: Ra <= 0,3 нм. Полированная, готовая к эпиляции. |
— | Задняя поверхность: 1. Тонкая шлифовка |
— | 2. Полированный. |
Полезная площадь | ≥ 90 % |
1,3 4-дюймовая полуизолирующая GaN (нитрид галлия) Отдельно стоящая подложка
Пункт | ПАМ-ФС-GaN100-SI |
Проводимость Тип | Полуизоляционный |
Размер | 4″(100)+/-1мм |
Толщина | 480+/-50 |
Ориентация | С-ось (0001) +/- 0.5o |
Первичное плоское Расположение | (10-10)+/-0,5o |
Первичная плоская Длина | 32+/-1 мм |
Secondary Квартира Расположение | (1-210)+/-3o |
Вторичная плоская Длина | 18+/-1 мм |
Удельное сопротивление (300K) | >10^6Ом·см |
Вывих Плотность | <5x106cm-2 |
FWHM | <=100угл.сек. |
TTV | <= 30 мкм |
ЛУК | <=+/-30 мкм |
Чистота поверхности | Передняя поверхность: Ra <= 0,3 нм. Полированная, готовая к эпиляции. |
— | Задняя поверхность: 1. Тонкая шлифовка |
— | 2. Полированный. |
Полезная площадь | ≥ 90 % |
1,4 2″ GaN (нитрид галлия), легированный Si, отдельная подложка
Пункт | ПАМ-ФС-GaN50-N+ | |||
Проводимость Тип | Тип N/легированный Si | |||
Размер | 2 "(50,8) +/- 1мм | |||
Толщина | 400+/-50 | |||
Ориентация | С-ось (0001) +/- 0.5o | |||
Первичное плоское Расположение | (10-10)+/-0,5o | |||
Первичная плоская Длина | 16 +/- 1мм | |||
Secondary Квартира Расположение | (1-210)+/-3o | |||
Вторичная плоская Длина | 8 +/- 1мм | |||
Удельное сопротивление (300K) | <0.05Ω · см | |||
Вывих Плотность | <5x106cm-2 | |||
FWHM | <=100угл.сек. | |||
TTV | <= 15 мкм | |||
ЛУК | <=+/-20 мкм | |||
Чистота поверхности | Передняя поверхность: Ra <= 0,3 нм. Полированная, готовая к эпиляции. | |||
Задняя поверхность: 1. Тонкая шлифовка | ||||
2. Полированный. | ||||
Полезная площадь | ≥ 90 % |
1,5 2″ Низколегированный GaN (нитрид галлия) Отдельно стоящая подложка
Пункт | ПАМ-ФС-GaN50-N- | ||||
Проводимость Тип | Тип N | ||||
Размер | 2 "(50,8) +/- 1мм | ||||
Толщина | 400+/-50 | ||||
Ориентация | С-ось (0001) +/- 0.5o | ||||
Первичное плоское Расположение | (10-10)+/-0,5o | ||||
Первичная плоская Длина | 16 +/- 1мм | ||||
Secondary Квартира Расположение | (1-210)+/-3o | ||||
Вторичная плоская Длина | 8 +/- 1мм | ||||
Удельное сопротивление (300K) | <0.5Ω · см | ||||
Вывих Плотность | <5x106cm-2 | ||||
FWHM | <=100угл.сек. | ||||
TTV | <= 15 мкм | ||||
ЛУК | <=+/-20 мкм | ||||
Чистота поверхности | Передняя поверхность: Ra <= 0,3 нм. Полированная, готовая к эпиляции. | ||||
Задняя поверхность: 1. Тонкая шлифовка | |||||
2. Полированный. | |||||
Полезная площадь | ≥ 90 % |
1,6 2-дюймовая полуизолирующая GaN (нитрид галлия) Отдельно стоящая подложка
Пункт | PAM-FS-GaN50-SI | ||||
Проводимость Тип | Полуизоляционный | ||||
Размер | 2 "(50,8) +/- 1мм | ||||
Толщина | 400+/-50 | ||||
Ориентация | С-ось (0001) +/- 0.5o | ||||
Первичное плоское Расположение | (10-10)+/-0,5o | ||||
Первичная плоская Длина | 16 +/- 1мм | ||||
Secondary Квартира Расположение | (1-210)+/-3o | ||||
Вторичная плоская Длина | 8 +/- 1мм | ||||
Удельное сопротивление (300K) | >10^6Ом·см | ||||
Вывих Плотность | <5x106cm-2 | ||||
FWHM | <=100угл.сек. | ||||
TTV | <= 15 мкм | ||||
ЛУК | <=+/-20 мкм | ||||
Чистота поверхности | Передняя поверхность: Ra <= 0,3 нм. Полированная, готовая к эпиляции. | ||||
Задняя поверхность: 1. Тонкая шлифовка | |||||
2. Полированный. | |||||
Полезная площадь | ≥ 90 % |
1,7 15 мм, 10 мм, 5 ммОтдельностоящаяGaN Субстрат
Пункт | ПАМ-ФС-GaN15-Н | ПАМ-ФС-GaN15-SI | |
ПАМ-ФС-GaN10-N | ПАМ-ФС-GaN10-SI | ||
ПАМ-ФС-GaN5-N | ПАМ-ФС-GaN5-SI | ||
Проводимость Тип | N-типа | Полуизолирующих | |
Размер | 14,0 мм*15 мм 10,0 мм*10,5 мм 5,0*5,5 мм | ||
Толщина | 330-450ум | ||
Ориентация | С-ось (0001) +/- 0.5o | ||
Первичное плоское Расположение | |||
Первичная плоская Длина | |||
Secondary Квартира Расположение | |||
Вторичная плоская Длина | |||
Удельное сопротивление (300K) | <0.5Ω · см | > 106Ω · см | |
Вывих Плотность | <5x106cm-2 | ||
Марко Дефект Плотность | 0 см-2 | ||
TTV | <= 15 мкм | ||
ЛУК | <= 20um | ||
Чистота поверхности | Передняя поверхность: Ra <0.2nm.Epi готовые полированные | ||
Назад Поверхность: 1.Fine земля | |||
2.Rough шлифованный | |||
Полезная площадь | ≥ 90% |
Примечание:
Валидационная пластина:Учитывая удобство использования, PAM-XIAMEN предлагает 2-дюймовую сапфировую проверочную пластину для отдельно стоящей подложки GaN размером менее 2 дюймов.
2. Свойства отдельно стоящей подложки GaN.
Параметры решетки | а=0,3189 нм; с=0,5185нм |
Группа Gap | 3,39 эВ |
Плотность | 6,15 г/см3 |
Терм. Коэффициент расширения | а: 5,59×10-6/К; в: 3,17×10-6/ K |
Индекс преломления | 2.33-2.7 |
Диэлектрическая постоянная | 9.5 |
Теплопроводность | 1,3 Вт/(см*К) |
Электрическое поле пробоя | 3,3 МВ/см |
Скорость дрейфа насыщения | 2,5E7см/с |
Электронная подвижность | 1300см2/(Против) |
3. Применение подложки GaN
Твердотельное освещение: устройства GaN используются в качестве ультра высокой яркости светодиодов (LED), телевизоров, автомобилей и общего освещения
Хранилище DVD: Синие лазерные диоды
Силовое устройство: устройства, изготовленные на объемной подложке GaN, используются в качестве различных компонентов в мощной и высокочастотной силовой электронике, такой как базовые станции сотовой связи, спутники, усилители мощности и инверторы/преобразователи для электромобилей (EV) и гибридных электромобилей (HEV). ). Низкая чувствительность GaN к ионизирующему излучению (как и другие нитриды группы III) делает его подходящим материалом для космических применений, таких как массивы солнечных батарей для спутников и мощные высокочастотные устройства для спутников связи, погоды и наблюдения.
Подложка из чистого нитрида галлия Iсделка по повторному выращиванию III-нитридов
Беспроводные базовые станции: РЧ транзисторы
Беспроводной широкополосный доступ: высокочастотный MMICs, RF-Circuits MMICs
Датчики давления: MEMS
Тепловые датчики: Pyro-электрические датчики
PАуэр Conditioning: Смешанный сигнал GaN / Si Интегрирование
Автомобильная электроника: Высокотемпературная электроника
Линии питания Трансмиссия: электроника высокого напряжения
Каркасные Датчики: УФ-детекторы
Солнечные элементы: широкая запрещенная зона GaN охватывает солнечный спектр от 0,65 эВ до 3,4 эВ (что составляет практически весь солнечный спектр), что делает нитрид индия-галлия
(InGaN) сплавы идеально подходят для создания материала солнечных элементов. Из-за это преимущество, солнечные батареи InGaN, выращенные на подложках GaN готовы стать одним из наиболее важных новых приложений и рост рынка для GaN подложки вафель.
Идеально для HEMTs, FETs
Проект диода Шоттки GaN: Мы принимаем диоды Шоттки по индивидуальному заказу, изготовленные на выращенных методом HVPE отдельных слоях нитрида галлия (GaN) n- и p-типа.
Оба контакта (омический и Шоттки) были нанесены на верхнюю поверхность с использованием Al/Ti и Pd/Ti/Au.
Примечание:
Правительство Китая объявило о новых ограничениях на экспорт галлиевых материалов (таких как GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs и GaSb) и германиевых материалов, используемых для изготовления полупроводниковых чипов. С 1 августа 2023 года экспорт этих материалов разрешен только при наличии лицензии Министерства торговли Китая. Надеемся на ваше понимание и сотрудничество!