Корпусная GaN-подложка

Корпусная GaN-подложка

РАМ-СЯМЫНЬ установила технологии изготовления для автономных (нитрид галлия) GaN-подложка пластины, которая является для UHB-LED и LD. Выращенный по технологии гидридной эпитаксии из паровой фазы (HVPE), Наша GaN-подложка имеет низкую плотность дефектов.

  • Описание

Описание продукта

Корпусная GaN-подложка

Являясь ведущим поставщиком подложек GaN, компания PAM-XIAMEN разработала технологию производства отдельно стоящих пластин (нитрид галлия).Пластина-подложка GaNкоторый представляет собой объемную подложку GaN для UHB-LED, LD и изготовления устройств на основе MOS. Наша продукция, выращенная по технологии гидридной парофазной эпитаксии (HVPE),GaN-подложкадля III-нитридных устройств имеет низкую плотность дефектов и меньшую или свободную плотность макродефектов. Толщина подложки GaN составляет 330~530 мкм.

Помимо силовых устройств, полупроводниковые подложки из нитрида галлия все чаще используются в производстве светодиодов белого света, поскольку подложки светодиодов GaN обеспечивают улучшенные электрические характеристики, а их производительность превосходит текущие устройства. Более того, быстрое развитие технологии подложек из нитрида галлия привело к разработке высокоэффективных свободных подложек GaN с низкой плотностью дефектов и плотностью свободных макродефектов. Следовательно, такие подложки GaN могут все чаще использоваться для белых светодиодов. В результате рынок объемных подложек GaN быстро растет. Кстати, объемную пластину GaN можно использовать для тестирования концепций устройств с вертикальным питанием.

1. Спецификация отдельно стоящей подложки GaN

 Здесь показаны детали спецификации:

1.1 4-дюймовый GaN (нитрид галлия), легированный кремнием N-типа, отдельная подложка

Пункт ПАМ-ФС-GaN100-N+
Проводимость Тип Тип N/легированный Si
Размер 4″(100)+/-1мм
Толщина 480+/-50
Ориентация С-ось (0001) +/- 0.5o
Первичное плоское Расположение (10-10)+/-0,5o
Первичная плоская Длина 32+/-1 мм
Secondary Квартира Расположение (1-210)+/-3o
Вторичная плоская Длина 18+/-1 мм
Удельное сопротивление (300K) <0.05Ω · см
Вывих Плотность <5x106cm-2
FWHM <=100угл.сек.
TTV <= 30 мкм
ЛУК <=+/-30 мкм
Чистота поверхности Передняя поверхность: Ra <= 0,3 нм. Полированная, готовая к эпиляции.
Задняя поверхность: 1. Тонкая шлифовка
2. Полированный.
Полезная площадь ≥ 90 %

 

1,2 4″ N-типа, низколегированный GaN (нитрид галлия) Отдельно стоящая подложка

Пункт ПАМ-ФС-GaN100-N-
Проводимость Тип Тип N
Размер 4″(100)+/-1мм
Толщина 480+/-50
Ориентация С-ось (0001) +/- 0.5o
Первичное плоское Расположение (10-10)+/-0,5o
Первичная плоская Длина 32+/-1 мм
Secondary Квартира Расположение (1-210)+/-3o
Вторичная плоская Длина 18+/-1 мм
Удельное сопротивление (300K) <0.5Ω · см
Вывих Плотность <5x106cm-2
FWHM <=100угл.сек.
TTV <= 30 мкм
ЛУК <=+/-30 мкм
Чистота поверхности Передняя поверхность: Ra <= 0,3 нм. Полированная, готовая к эпиляции.
Задняя поверхность: 1. Тонкая шлифовка
2. Полированный.
Полезная площадь ≥ 90 %

 

1,3 4-дюймовая полуизолирующая GaN (нитрид галлия) Отдельно стоящая подложка

Пункт ПАМ-ФС-GaN100-SI
Проводимость Тип Полуизоляционный
Размер 4″(100)+/-1мм
Толщина 480+/-50
Ориентация С-ось (0001) +/- 0.5o
Первичное плоское Расположение (10-10)+/-0,5o
Первичная плоская Длина 32+/-1 мм
Secondary Квартира Расположение (1-210)+/-3o
Вторичная плоская Длина 18+/-1 мм
Удельное сопротивление (300K) >10^6Ом·см
Вывих Плотность <5x106cm-2
FWHM <=100угл.сек.
TTV <= 30 мкм
ЛУК <=+/-30 мкм
Чистота поверхности Передняя поверхность: Ra <= 0,3 нм. Полированная, готовая к эпиляции.
Задняя поверхность: 1. Тонкая шлифовка
2. Полированный.
Полезная площадь ≥ 90 %

 

1,4 2″ GaN (нитрид галлия), легированный Si, отдельная подложка

Пункт ПАМ-ФС-GaN50-N+
Проводимость Тип Тип N/легированный Si
Размер 2 "(50,8) +/- 1мм
Толщина 400+/-50
Ориентация С-ось (0001) +/- 0.5o
Первичное плоское Расположение (10-10)+/-0,5o
Первичная плоская Длина 16 +/- 1мм
Secondary Квартира Расположение (1-210)+/-3o
Вторичная плоская Длина 8 +/- 1мм
Удельное сопротивление (300K) <0.05Ω · см
Вывих Плотность <5x106cm-2
FWHM <=100угл.сек.
TTV <= 15 мкм
ЛУК <=+/-20 мкм
Чистота поверхности Передняя поверхность: Ra <= 0,3 нм. Полированная, готовая к эпиляции.
  Задняя поверхность: 1. Тонкая шлифовка
  2. Полированный.
Полезная площадь ≥ 90 %


 

1,5 2″ Низколегированный GaN (нитрид галлия) Отдельно стоящая подложка

Пункт ПАМ-ФС-GaN50-N-
Проводимость Тип Тип N
Размер 2 "(50,8) +/- 1мм
Толщина 400+/-50
Ориентация С-ось (0001) +/- 0.5o
Первичное плоское Расположение (10-10)+/-0,5o
Первичная плоская Длина 16 +/- 1мм
Secondary Квартира Расположение (1-210)+/-3o
Вторичная плоская Длина 8 +/- 1мм
Удельное сопротивление (300K) <0.5Ω · см
Вывих Плотность <5x106cm-2
FWHM <=100угл.сек.
TTV <= 15 мкм
ЛУК <=+/-20 мкм
Чистота поверхности Передняя поверхность: Ra <= 0,3 нм. Полированная, готовая к эпиляции.
  Задняя поверхность: 1. Тонкая шлифовка
    2. Полированный.
Полезная площадь ≥ 90 %


 

1,6 2-дюймовая полуизолирующая GaN (нитрид галлия) Отдельно стоящая подложка

Пункт PAM-FS-GaN50-SI
Проводимость Тип Полуизоляционный
Размер 2 "(50,8) +/- 1мм
Толщина 400+/-50
Ориентация С-ось (0001) +/- 0.5o
Первичное плоское Расположение (10-10)+/-0,5o
Первичная плоская Длина 16 +/- 1мм
Secondary Квартира Расположение (1-210)+/-3o
Вторичная плоская Длина 8 +/- 1мм
Удельное сопротивление (300K) >10^6Ом·см
Вывих Плотность <5x106cm-2
FWHM <=100угл.сек.
TTV <= 15 мкм
ЛУК <=+/-20 мкм
Чистота поверхности Передняя поверхность: Ra <= 0,3 нм. Полированная, готовая к эпиляции.
  Задняя поверхность: 1. Тонкая шлифовка
    2. Полированный.
Полезная площадь ≥ 90 %

1,7 15 мм, 10 мм, 5 ммОтдельностоящаяGaN Субстрат

Пункт ПАМ-ФС-GaN15-Н ПАМ-ФС-GaN15-SI
ПАМ-ФС-GaN10-N ПАМ-ФС-GaN10-SI
ПАМ-ФС-GaN5-N ПАМ-ФС-GaN5-SI
Проводимость Тип N-типа Полуизолирующих
Размер 14,0 мм*15 мм 10,0 мм*10,5 мм 5,0*5,5 мм
Толщина 330-450ум
Ориентация С-ось (0001) +/- 0.5o
Первичное плоское Расположение  
Первичная плоская Длина  
Secondary Квартира Расположение  
Вторичная плоская Длина  
Удельное сопротивление (300K) <0.5Ω · см > 106Ω · см
Вывих Плотность <5x106cm-2
Марко Дефект Плотность 0 см-2
TTV <= 15 мкм
ЛУК <= 20um
Чистота поверхности Передняя поверхность: Ra <0.2nm.Epi готовые полированные
  Назад Поверхность: 1.Fine земля
    2.Rough шлифованный
Полезная площадь ≥ 90%


            

Примечание:

Валидационная пластина:Учитывая удобство использования, PAM-XIAMEN предлагает 2-дюймовую сапфировую проверочную пластину для отдельно стоящей подложки GaN размером менее 2 дюймов.

2. Свойства отдельно стоящей подложки GaN.

Параметры решетки а=0,3189 нм; с=0,5185нм
Группа Gap 3,39 эВ
Плотность 6,15 г/см3
Терм. Коэффициент расширения а: 5,59×10-6/К; в: 3,17×10-6/ K
Индекс преломления 2.33-2.7
Диэлектрическая постоянная 9.5
Теплопроводность 1,3 Вт/(см*К)
Электрическое поле пробоя 3,3 МВ/см
Скорость дрейфа насыщения 2,5E7см/с
Электронная подвижность 1300см2/(Против)

3. Применение подложки GaN

Твердотельное освещение: устройства GaN используются в качестве ультра высокой яркости светодиодов (LED), телевизоров, автомобилей и общего освещения

Хранилище DVD: Синие лазерные диоды

Силовое устройство: устройства, изготовленные на объемной подложке GaN, используются в качестве различных компонентов в мощной и высокочастотной силовой электронике, такой как базовые станции сотовой связи, спутники, усилители мощности и инверторы/преобразователи для электромобилей (EV) и гибридных электромобилей (HEV). ). Низкая чувствительность GaN к ионизирующему излучению (как и другие нитриды группы III) делает его подходящим материалом для космических применений, таких как массивы солнечных батарей для спутников и мощные высокочастотные устройства для спутников связи, погоды и наблюдения.


Подложка из чистого нитрида галлия Iсделка по повторному выращиванию III-нитридов

Беспроводные базовые станции: РЧ транзисторы

Беспроводной широкополосный доступ: высокочастотный MMICs, RF-Circuits MMICs

Датчики давления: MEMS

Тепловые датчики: Pyro-электрические датчики

PАуэр Conditioning: Смешанный сигнал GaN / Si Интегрирование

Автомобильная электроника: Высокотемпературная электроника

Линии питания Трансмиссия: электроника высокого напряжения

Каркасные Датчики: УФ-детекторы

Солнечные элементы: широкая запрещенная зона GaN охватывает солнечный спектр от 0,65 эВ до 3,4 эВ (что составляет практически весь солнечный спектр), что делает нитрид индия-галлия

(InGaN) сплавы идеально подходят для создания материала солнечных элементов. Из-за это преимущество, солнечные батареи InGaN, выращенные на подложках GaN готовы стать одним из наиболее важных новых приложений и рост рынка для GaN подложки вафель.

Идеально для HEMTs, FETs

Проект диода Шоттки GaN: Мы принимаем диоды Шоттки по индивидуальному заказу, изготовленные на выращенных методом HVPE отдельных слоях нитрида галлия (GaN) n- и p-типа.

Оба контакта (омический и Шоттки) были нанесены на верхнюю поверхность с использованием Al/Ti и Pd/Ti/Au.

 

Примечание:
Правительство Китая объявило о новых ограничениях на экспорт галлиевых материалов (таких как GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs и GaSb) и германиевых материалов, используемых для изготовления полупроводниковых чипов. С 1 августа 2023 года экспорт этих материалов разрешен только при наличии лицензии Министерства торговли Китая. Надеемся на ваше понимание и сотрудничество!

Мы предлагаем отчеты об испытаниях, смотрите ниже пример:

Вам также может понравиться ...