Для технологии обнаружения одиночных фотонов, в дополнение к традиционной InP/InGaAs SPAD, также были разработаны новые системы материалов, такие как системы материалов с низким уровнем шума, изготовленные из цифровых сплавов на основе Sb, умножение InP/InGaAs SPAD с использованием технологии ионизации и InAlAs/InGaAs SPAD. развитый. PAM-XIAMEN может предоставить эпитаксиальные пластины InGaAs / InAlAs на основе InP для однофотонного детектора со следующей конкретной структурой:
1. Гетероэпитаксиальные пластины на основе InP, выращенные MOCVD, для однофотонного детектора.
PAM210918 — СПДЕ
№ 1 2-дюймовая гетероэпитаксиальная пластина SPD
Слой No. | Материал | Толщина (нм) | добавка | Уровень легирования (см-3) |
8 | ВxДжорджия1-хВ виде | – | – | – |
7 | В0.52Al0.48В виде | – | – | – |
6 | ВxДжорджия1-хВ виде | 50±3 | – | – |
5 | InP | – | – | – |
4 | InP | – | – | 6*1016±0,3*1016 |
3 | InGaAlAs (градиент химического состава от InxДжорджия1-хЧто касается InP:> 3 шага) | – | – | – |
2 | ВxДжорджия1-хВ виде | – | си | – |
1 | InP | – | – | – |
0 | Подложка InP | 350 ± 25 мкм | S | – |
№ 2 3-дюймовая эпиструктура на основе InP для SPD
Слой No. | Материал | Толщина (нм) | добавка | Уровень легирования (см-3) |
8 | ВxДжорджия1-хВ виде | – | – | 1,5*1019±0,1*1019 |
7 | В0.52Al0.48В виде | – | – | – |
6 | InAlGaAs (числовой градиент химического состава от InxДжорджия1-хЧто касается В0.52Al0.48Как: > 13 шагов) | – | – | – |
5 | ВxДжорджия1-хВ виде | 1700±50 | – | – |
4 | InAlGaAs (числовой градиент химического состава от In0.52Al0.48Что касается ВxДжорджия1-хКак: > 13 шагов) | – | – | – |
3 | В0.52Al0.48В виде | – | C | – |
2 | В0.52Al0.48В виде | – | – | – |
1 | В0.52Al0.48В виде | – | – | – |
0 | Подложка InP | 625 ± 25 мкм | S | – |
№ 3 3-дюймовая эпитаксиальная структура InP для SPD
Слой No. | Материал | Толщина (нм) | добавка | Уровень легирования (см-3) |
9 | ВxДжорджия1-хВ виде | 50±3 | – | 1,5*1019±0,1*1019 |
8 | В0.52Al0.48В виде | – | – | – |
7 | InAlGaAs (числовой градиент химического состава от InxДжорджия1-хЧто касается В0.52Al0.48Как: > 13 шагов) | – | – | – |
6 | ВxДжорджия1-хВ виде | – | – | – |
5 | InAlGaAs (числовой градиент химического состава от In0.52Al0.48Что касается ВxДжорджия1-хКак: > 13 шагов) | – | – | – |
4 | В0.52Al0.48В виде | – | C | – |
3 | В0.52Al0.48В виде | – | – | – |
2 | В0.52Al0.48В виде | – | – | – |
1 | ВxДжорджия1-хВ виде | – | – | – |
0 | Подложка InP | 625 ± 25 мкм | Полуизолированный | – |
2. Что такое детектор одиночных фотонов?
Однофотонный детектор опирается на свою сверхвысокую чувствительность для обнаружения и подсчета отдельных фотонов, а его основная функция заключается в преобразовании оптических сигналов в электрические. Принцип работы однофотонного детектора в основном основан на фотоэлектрическом эффекте. Фотоэлектрический эффект заключается в том, что изменение состояния происходит после того, как фотоны воздействуют на детектор, и фотоны измеряются путем измерения изменений электронных состояний.
В настоящее время широко используемые SPD в основном включают фотоумножитель (PMT), лавинный фотодиод (APD) и детектор одиночных фотонов со сверхпроводящей нанопроволокой (SNSPD). Среди них ФЭУ и АФД представляют собой фотоэлектрические устройства традиционной однофотонной технологии. В последние годы, с развитием технологии оптоэлектронного обнаружения и новых структур, появились различные новые оптоэлектронные детекторы, в том числе детекторы одиночных фотонов на основе квантовых точек, счетчики видимых фотонов, детекторы одиночных фотонов на основе преобразования с повышением частоты и сверхпроводящие детекторы одиночных фотонов.
3. Применение детектора одиночных фотонов на основе InP
Детекторы одиночных фотонов могут обнаруживать чрезвычайно слабые световые сигналы и обладают высокой чувствительностью. Во многих оптических областях методы обнаружения одиночных фотонов имеют решающее значение и широко используются в различных областях:
1) Квантовая связь: в области квантовой связи одиночные фотоны используются в качестве носителей кодирования состояния квантовой суперпозиции и передачи, поэтому детекторы одиночных фотонов широко используются в качестве основных устройств обнаружения систем квантовой связи;
2) Однофотонная лазерная дальнометрия: в области лазерной дальнометрии от цели излучается узкая последовательность лазерных импульсов, и информация о расстоянии может быть получена путем записи времени полета светового сигнала туда и обратно до цели при известной скорости света. условия;
3) SPD на основе InP может быть преобразован в единую матрицу фотодетекторов, применяемую в таких областях, как лазерное 3D-изображение, 3D-картографирование местности, автономная навигация для беспилотных транспортных средств и пассивная визуализация в условиях разреженной фотонной среды.
Для получения дополнительной информации, пожалуйста, свяжитесь с нами по электронной почте по адресуvictorchan@powerwaywafer.com и powerwaymaterial@gmail.com.