Нитрид галлия (GaN) является основным материалом для синих светодиодов и имеет важные применения в светодиодах и ультрафиолетовых лазерах.

PAM-XIAMEN может эпитаксиально выращивать пластины GaN для светодиодов и LD. Для получения дополнительной спецификации пластин, пожалуйста, посетите:https://www.powerwaywafer.com/gan-wafer/epitaxial-wafer.html. Как мы выращиваем светодиодную пластину GaN на сапфире?

Пожалуйста, нажмите на ссылкуhttps://youtu.be/uu0tCdmAA10наблюдать за процессом роста пластин GaN-светодиодов от PAM-XIAMEN.

Используемая нами технология эпитаксии — MOCVD.

Во-первых, подложка подвергается высокотемпературной обработке для очистки поверхности.

Во-вторых, вырастить буферный слой около 20-30 нм при низких температурах из-за большого несоответствия между сапфиром и GaN.

В-третьих, вырастить слой GaN N-типа толщиной примерно 4 мкм, в основном в качестве активного слоя, обеспечивающего излучательную рекомбинацию электронов.

Затем вырастите набор множественных квантовых ям (МКЯ), состав которых определяется слоем InGaN.

Отрегулируйте состав индия в MQW, чтобы получить желаемую длину волны.

Эффективность генерации можно повысить за счет оптимизации параметров МКЯ, таких как количество ям, периодическая толщина молекулярных ям групп материалов и концентрация легирующих примесей.

После этого вырастите слой AlGaN P-типа. Компонент с более высоким содержанием алюминия может ограничить носитель и значительно улучшить светоотдачу.

Наконец, выращивается эпислой GaN P-типа, чтобы обеспечить радиационную рекомбинацию электронов для МКЯ.

После эпитаксиального роста требуется отжиг, чтобы активировать P-слой, снижая напряжение.

Remark：
The Chinese government has announced new limits on the exportation of Gallium materials (such as GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs, and GaSb) and Germanium materials used to make semiconductor chips. Starting from August 1, 2023, exporting these materials is only allowed if we obtains a license from the Chinese Ministry of Commerce. Hope for your understanding and cooperation!

Для получения дополнительной информации, пожалуйста, свяжитесь с нами по электронной почте по адресуvictorchan@powerwaywafer.com и powerwaymaterial@gmail.com.