1 – SOI(silicon-on-insulator) 웨이퍼 기술을 위한 재료 및 제조 기술 이 장에서는 SOI 웨이퍼 제조를 위한 다양한 프로세스를 검토합니다. 산소 주입에 의한 분리(SIMOX) 및 직접 결합 기반 기술(BSOI(bonded silicon-on-insulator), 에피택셜 레이어 전송 프로세스(Eltran®), Smart Cut™)에 특히 중점을 둡니다. 후자의 경우 [...]
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