12 "테스트 학년 실리콘 웨이퍼

12 ″ 테스트 등급 실리콘 웨이퍼

PAM-XIAMEN은 300mm 베어 실리콘 웨이퍼(12인치) 더미, 테스트 등급, n형 또는 p형을 제공합니다. Powerway Wafer는 다른 실리콘 웨이퍼 공급업체에 비해 경쟁력 있는 가격으로 전문적인 서비스를 제공합니다.

  • 기술

제품 설명

PAM-XIAMEN offers 300mm P type or N type test silicon wafer (12 inch). The silicon test wafer thickness is 775±25μm. Compared to other silicon wafer suppliers, Powerway Wafer offers professional service with competitive prices.

1. Specification of Test Silicon Wafer

매개 변수
잉곳의 종류 초크 랄 스키 법에 의해 성장한
직경, mm 300 ± 0.2
도펀트 B (붕소)
도전 형 P
Oxigen 최대, OLD-PPMA 40
탄소, PPMA 1
Test silicon wafer crystal orientation <100>
결정면의 미리 결정된 표면 방향 편차, deg 1
볼륨 저항, 옴 · cm 10-40
차 노치
노치 위치 110
노치 크기, mm 2,3
노치 양식 V
웨이퍼 두께, 마이크론 775 ± 25
마킹의 종류 레이저
Silicon Laser Marking Location 후면
에지 프로필 SEMI T / 4 제작
앞면의 긁힘 결석
전면 연마
뒷면 연마
웨이퍼 두께 (TTV)의 총 변화, 마이크로 미터 5
처짐 (WARP), 미크론 60
0.09 미크론보다 큰 표면의 입자 수 50
알루미늄 표면 콘텐츠 E10AT / CM2 1

 

요구 사항을 포장 :

매개 변수  
포장의 종류 MW300GT-A
내부 용기 재질 폴리에틸렌
외부 포장 재료 알루미늄
하나 개의 패키지에서 조각의 수 25
재사용 성

 

2. Test Silicon Wafer Usage

Silicon wafers larger than 150mm are classified into Mechanical(dummy) Test Wafers and Process Test Wafers, and the test silicon wafer industry standards are in the following SEMI Standards(Semiconductor Equipment and Materials International, a global semiconductor association offered equipment, materials and service for manufacture of the worldwide semiconductor, photovoltaic (PV), LED, MEMS and flat panel display (FPD),and micro or nano-technologies).

3. About Silicon Wafer Test Grade

However, different application has required different parameters for mechanical or process test wafer:

공정 테스트 등급 실리콘 웨이퍼

Process Silicon Wafer Test Grade, is called Monitor wafer, which is for process monitoring and some processing applications in wafer fabrication. Wafer fab also use monitor test wafers to assess equipment cleanliness, support particle measurement or evaluate metallic contamination etc

더미 실리콘 웨이퍼

Dummy Silicon Wafer, also called Mechanical grade test wafer, is to test equipment for wafer dimensional and structural characteristics only, which is used to do equipment automation handling tests, reliability marathons, and software tests, and assess interoperability performance of wafer handling hardware.

Also silicon wafer fab use mechanical grade silicon test wafers to process development applications that are not sensitive for particle and defects.

Test Particle Grade Silicon Wafers

Test Particle Grade Silicon Wafers is for particle test monitors to measure wafer particle for applications, like CVD and ALD process.

According to SEMI standard, Particle of silicon wafer must be < 0.6 [email protected]>0.125μm/cm2 and < 0.15 [email protected]>0.25μm/cm2 for 250nm process and 130nm Design Rule Usage, 300mm wafers must have ≤60 [email protected]>=90nm for 130nm process.

포토 리소그래피 또는 패터닝 테스트 용 실리콘 웨이퍼

Test Silicon Wafers for Photolithography or Patterning Test mainly focus on requirement in wafer thickness variation, TTV, WARP, BOW and flatness. For instant, a 250nm wafer die Design, its corresponding SEMI Standard M24: Flatness per Site (SFSR) of ≤ 0.2μm at site size 25 x 25mm.

Furnace Grade 테스트 Silicon Wafers

Furnace Grade Test Wafer Semiconductor has strictly requirement for electrical characteristics but not tight particle performance.

Resistivity of Furnace grade test silicon wafer should be above 1ohm.cm and doped very evenly with lifetime>=200us.

또한 퍼니스 등급 웨이퍼는 방사형 비저항 구배뿐만 아니라 산소 및 탄소 함량을 엄격하게 제어합니다.

Virgin Test Wafers

Virgin test silicon wafers are not used in semiconductor manufacturing, but for wafer process monitoring according to SEMI M8-93.

솔라 그레이드 실리콘 웨이퍼

Compared with IC grade silicon wafer, Solar Grade silicon wafer has lower requirement,

순도는> = 99.9999 %이고 IC 등급의 순도는> = 99999999,99 %입니다.

 

4. FAQ: 

Q: What is the Difference between Prime, Test and Dummy Silicon Wafer?

A: 프라임 그레이드 실리콘 웨이퍼는 공식 웨이퍼 제조 및 포토 리소그래피를위한 최고급 실리콘 웨이퍼입니다.

Test silicon wafer is the silicon wafer for equipment test or fab management and test.

더미 등급 실리콘 웨이퍼는 생산 공정 평가 또는 생산 라인의 안전 측정을위한 실리콘 웨이퍼입니다.

Compared with Test grade silicon wafer, the parameters of dummy grade silicon wafer is much easier or loose for testing equipment for wafer dimensional and structural characteristics only. But it is not so strict to distinguish sometimes.

 

PAM-XIAMEN은 기술 및 웨이퍼 지원을 제공 할 수 있습니다.

자세한 내용은 다음 웹 사이트를 방문하십시오. https://www.powerwaywafer.com/silicon-wafer,

에서 우리에게 이메일을 보내 [email protected][email protected]