12 "테스트 학년 실리콘 웨이퍼

제품 설명

PAM-XIAMEN은 300mm P형 또는 N형 테스트 실리콘 웨이퍼(12인치)를 제공합니다. 실리콘 테스트 웨이퍼 두께는 775±25μm입니다. 다른 실리콘 웨이퍼 공급업체와 비교하여 Powerway Wafer는 경쟁력 있는 가격으로 전문적인 서비스를 제공합니다.

1. 테스트 실리콘 웨이퍼 사양

매개 변수	값
잉곳의 종류	초크 랄 스키 법에 의해 성장한
직경, mm	300 ± 0.2
도펀트	B (붕소)
도전 형	P
Oxigen 최대, OLD-PPMA	40
탄소, PPMA	1
실리콘 웨이퍼 결정 방향 테스트	<100>
결정면의 미리 결정된 표면 방향 편차, deg	1
볼륨 저항, 옴 · cm	10-40
차 노치	예
노치 위치	110
노치 크기, mm	2,3
노치 양식	V
웨이퍼 두께, 마이크론	775 ± 25
마킹의 종류	레이저
실리콘 레이저 마킹 위치	후면
에지 프로필	SEMI T / 4 제작
앞면의 긁힘	결석
전면 연마	예
뒷면 연마	예
웨이퍼 두께 (TTV)의 총 변화, 마이크로 미터	5
처짐 (WARP), 미크론	60
0.09 미크론보다 큰 표면의 입자 수	50
알루미늄 표면 콘텐츠 E10AT / CM2	1

 

요구 사항을 포장 :

매개 변수
포장의 종류	MW300GT-A
내부 용기 재질	폴리에틸렌
외부 포장 재료	알루미늄
하나 개의 패키지에서 조각의 수	25
재사용 성	예

 

2. 실리콘 웨이퍼 사용 테스트

150mm보다 큰 실리콘 웨이퍼는 기계식(더미) 테스트 웨이퍼와 프로세스 테스트 웨이퍼로 분류되며, 테스트 실리콘 웨이퍼 산업 표준은 다음과 같은 SEMI 표준(Semiconductor Equipment and Materials International, 반도체 장비 및 재료 서비스를 제공하는 글로벌 반도체 협회)에 나와 있습니다. 전세계 반도체, 광전지(PV), LED, MEMS 및 평면 패널 디스플레이(FPD), 마이크로 또는 나노 기술 제조).

삼.실리콘 웨이퍼 테스트 등급 정보

그러나 응용 분야에 따라 기계 또는 공정 테스트 웨이퍼에 대해 서로 다른 매개변수가 필요합니다.

공정 테스트 등급 실리콘 웨이퍼

프로세스 실리콘 웨이퍼 테스트 등급은 모니터 웨이퍼라고 하며, 이는 웨이퍼 제조의 프로세스 모니터링 및 일부 처리 응용 분야에 사용됩니다. 웨이퍼 팹은 또한 모니터 테스트 웨이퍼를 사용하여 장비 청결도를 평가하고 입자 측정을 지원하거나 금속 오염도를 평가합니다.

더미 실리콘 웨이퍼

Mechanical grade test Wafer라고도 불리는 Dummy Silicon Wafer는 장비의 치수 및 구조적 특성만을 테스트하기 위한 장비로, 장비 자동화 핸들링 테스트, 신뢰성 마라톤, 소프트웨어 테스트, 웨이퍼 핸들링 하드웨어의 상호 운용성 성능 평가에 사용됩니다.

또한 실리콘 웨이퍼 팹에서는 기계 등급 실리콘 테스트 웨이퍼를 사용하여 입자 및 결함에 민감하지 않은 개발 애플리케이션을 처리합니다.

입자 등급 실리콘 웨이퍼 테스트

테스트 입자 등급 실리콘 웨이퍼는 CVD 및 ALD 공정과 같은 응용 분야에서 웨이퍼 입자를 측정하기 위한 입자 테스트 모니터용입니다.

SEMI 표준에 따르면, 실리콘 웨이퍼의 입자는 250nm 공정 및 130nm 설계 규칙 사용의 경우 < 0.6 입자@>0.125μm/cm2 및 < 0.15 입자@>0.25μm/cm2이어야 하며, 300mm 웨이퍼는 ≤60 LLS@>=90nm를 가져야 합니다. 130nm 공정용.

포토 리소그래피 또는 패터닝 테스트 용 실리콘 웨이퍼

포토리소그래피 또는 패터닝 테스트용 실리콘 웨이퍼 테스트는 주로 웨이퍼 두께 변화, TTV, WARP, BOW 및 평탄도 요구 사항에 중점을 둡니다. 즉, 250nm 웨이퍼 다이 설계에 해당하는 SEMI 표준 M24: 사이트 크기 25 x 25mm에서 사이트당 평탄도(SFSR)가 0.2μm 이하입니다.

용광로 등급테스트규소웨이퍼

Furnace Grade Test Wafer Semiconductor는 전기적 특성에 대한 엄격한 요구 사항을 갖고 있지만 엄격한 입자 성능 요구 사항은 없습니다.

Furnace 등급 테스트 실리콘 웨이퍼의 저항은 1ohm.cm 이상이어야 하며 수명>=200us로 매우 균일하게 도핑되어야 합니다.

또한 퍼니스 등급 웨이퍼는 방사형 비저항 구배뿐만 아니라 산소 및 탄소 함량을 엄격하게 제어합니다.

숫처녀 테스트 웨이퍼

Virgin 테스트 실리콘 웨이퍼는 반도체 제조에는 사용되지 않지만 SEMI M8-93에 따른 웨이퍼 공정 모니터링에는 사용됩니다.

솔라 그레이드 실리콘 웨이퍼

IC 등급 실리콘 웨이퍼와 비교하여 Solar Grade 실리콘 웨이퍼는 요구 사항이 낮습니다.

순도는> = 99.9999 %이고 IC 등급의 순도는> = 99999999,99 %입니다.

 

4. FAQ:

큐:프라임, 테스트, 더미 실리콘 웨이퍼의 차이점은 무엇입니까?

A: 프라임 그레이드 실리콘 웨이퍼는 공식 웨이퍼 제조 및 포토 리소그래피를위한 최고급 실리콘 웨이퍼입니다.

테스트 실리콘 웨이퍼는 장비 테스트 또는 Fab 관리 및 테스트를 위한 실리콘 웨이퍼입니다.

더미 등급 실리콘 웨이퍼는 생산 공정 평가 또는 생산 라인의 안전 측정을위한 실리콘 웨이퍼입니다.

테스트 등급 실리콘 웨이퍼와 비교하여, 더미 등급 실리콘 웨이퍼의 매개변수는 웨이퍼 치수 및 구조적 특성만을 테스트하는 장비에 대해 훨씬 쉽거나 느슨합니다. 그러나 때로는 구별하는 것이 그렇게 엄격하지 않습니다.

 

PAM-XIAMEN은 기술 및 웨이퍼 지원을 제공 할 수 있습니다.

자세한 내용은 다음 웹 사이트를 방문하십시오. https://www.powerwaywafer.com/silicon-wafer,

에서 우리에게 이메일을 보내 sales@powerwaywafer.com 과 powerwaymaterial@gmail.com