Xiamen Powerway Advanced Material Co., Ltd(PAM-하문)은(는) 오늘날 업계에서 가장 순도가 높은 InGaAs/InP 에피택시 웨이퍼를 제공합니다. 고품질 InP(인듐 인화물) 1.7 ~ 2.6μm의 파장을 가진 최대 4인치의 에피택시 웨이퍼로, 고속, 장파장 이미징, 고속 HBT 및 HEMT, APD 및 아날로그-디지털 변환기 회로에 이상적으로 적합합니다. InP 기반 구성 요소를 사용하는 응용 프로그램은 GaAs 또는 SiGe 기반 플랫폼에 구조화된 유사한 구성 요소와 비교하여 전송 속도를 크게 초과할 수 있습니다.
1. InP 에피택시 웨이퍼 사양
구조 1: InP 에피 웨이퍼 EOM(Electro-Optic Modulator) 구조 (PAM180828-EOM）
| 아니 | 도핑의 종류 | 자료 | 몰분율 | 두께, nm | 도핑, cm-3 | 정의 |
| 1 | p++ | 에1-X조지아x같이 | x=0.47
|
– | – | |
| 2 | p+ | InP를 | – | 1E18 | ||
| 3 | p+ | InP를 | – | – | ||
| 4 | p | InP를 | – | – | ||
| 5 | i | InP를 | 200 | <1E15 | 스페이서 | |
| 6 | MQW | 에1-X조지아x같이yP1년/인피 | x=0.35
y=0.76 |
12/8
20피리어드 |
– | WG 코어 |
| 7 | i | InP를 | – | – | – | 스페이서 |
| 8 | n | InP를 | – | – | 5E17 | |
| 9 | n+ | InP를 | – | – | – | |
| 10 | n+ | InP를 | – | – | – | 스페이서 |
| 11 | i | InP를 | – | 500 | – | 완충기 |
| 씨인피 |
구조 2:
2″ 크기 InGaAs / InP 에피택시 웨이퍼이며 맞춤형 사양을 수용합니다.
기판: (100) InP 기판
Epi 층 1: In0.53Ga0.47As 층, 도핑되지 않음, 두께 200 nm
Epi 층 2: In0.52Al0.48As 층, 도핑되지 않음, 두께 500 nm
Epi 층 3: In0.53Ga0.47As 층, 도핑되지 않음, 두께 1000 nm
최상층: In0.52Al0.48As 층, 도핑되지 않음, 두께 50 nm
또한 PAM-XIAMEN은 다음과 같은 InP 에피웨이퍼를 제공할 수 있습니다.
PIN 용의 InGaAs / InP의 에피 웨이퍼: InGaAs 에피택셜 박막이 도핑된 N형 또는 반절연성 InP(100) 웨이퍼에 증착됩니다.
의 InP 기판 위에 InGaAsP로 / InGaAs로: InP 에피택시 웨이퍼는 포토다이오드 제작을 위해 InGaAsP/InGaAs 양자 우물로 성장됩니다.
InGaAs APD 웨이퍼: InGaAs APD의 에피택셜 웨이퍼는 N형 인화인듐 기판 상에 성장된다.
의 InP / InGaAs로 / InP의 에피 웨이퍼: InP(100) 기판의 에피 구조는 첫 번째 층(식각 정지 층)의 100nm InGaAs와 두 번째 층(결합 층)의 50nm InP로 구성됩니다.
2. InP 기반 Epi Wafer 소개
인듐 인화물(InP)은 광학 시스템이 데이터 센터, 모바일 백홀, 메트로 및 장거리 애플리케이션에 필요한 성능을 제공할 수 있도록 하는 핵심 반도체 재료입니다. InP 에피택셜 웨이퍼에서 제작된 레이저, 포토다이오드 및 도파관은 효율적인 광섬유 통신을 가능하게 하는 유리 섬유의 최적 전송 창에서 작동합니다. PAM-XIAMEN의 독점적인 EFT(Etched Facet Technology)를 통해 기존 반도체 제조와 유사한 웨이퍼 레벨 테스트가 가능합니다. EFT는 높은 수율, 고성능 및 안정적인 레이저를 가능하게 합니다. 전자 및 광전자공학을 위한 GaAs 및 InP에서 성장한 에피 구조는 다음과 같습니다.
InGaAsP / InP 재료 준비 인듐 인화물 단결정 기판광섬유 통신에 사용되며, InGaAs/InP 이종접합 물질로 제조된 1.3~1.6μm 광원 및 검출기가 광전자소자에 널리 사용되어 왔다.
또한 lattice-matched InGaAs/InP heterojunction은 0.9-1.7um의 근적외선 대역에서 광검출에 적용될 수 있습니다. APD는 장거리 및 높은 비트 전송률의 광섬유 통신 시스템에서 가장 중요한 구조 중 하나입니다. GaAs 및 InP 에피택시 구조로 만들어진 APD는 높은 응답성과 낮은 암전류의 장점이 있습니다. 단일 광자 검출에 널리 사용되며 현재 많은 관심을 받고 있습니다.
InGaAs / InP epiwafers also can be used to fabricate single-pixel photodiode chips for spectroscopic sensing applications. InGaAs / InP PIN photodiodes have the advantages of simple production, high bandwidth, high sensitivity, and low noise. It is widely used in short-wave infrared detection, so there is an urgent need to prepare high-quality InGaAs / InP epitaxial wafer.
일반적으로 InGaAs APD 또는 PIN 장치의 성능은 InGaAs/InP의 이종 계면과 InGaAs 필름의 에피택셜 품질에 크게 좌우됩니다. 현재 고체 상태 소스(예: As2또는4)은 InP 기반 InGaAs 에피택셜 재료를 성장시키는 데 사용됩니다. As의 다른 흡착 계수로 인해2그리고 그대로4, 성장한 InGaAs/InP 인터페이스의 품질도 다릅니다. As를 직접 사용2InGaAs/InP 계면을 성장시키는 것은 V족 원자의 확산을 야기할 가능성이 있다.
따라서 InP 웨이퍼의 고성능 광전자 특성을 얻기 위해서는 높은 결정 품질과 계면 품질을 얻기 위해 InGaAs/InP의 성장 조건을 최적화해야 합니다.
자세한 내용은 다음 주소로 이메일을 보내주십시오. victorchan@powerwaywafer.com 과 powerwaymaterial@gmail.com.