PSS의 LED 웨이퍼를 레이저 리프트오프에 사용할 수 있는 이유는 무엇입니까?

PSS의 LED 웨이퍼를 레이저 리프트오프에 사용할 수 있는 이유는 무엇입니까?

일부 고객은 레이저 리프트오프를 사용하여 LED를 다른 기판으로 전사할 때 패턴화된 사파이어 기판에 LED 웨이퍼 패턴이 나타나는 것을 걱정합니다. PSS는 레이저를 산란시킵니다. 실제로 일부 고객은 LLO용 PSS에서 4인치 에피 웨이퍼를 사용하기도 하는데 이는 문제가 되지 않습니다. 그 이유는 다음과 같습니다.

1. "레이저 리프트 오프"는 실제로 아래 이미지와 같이 "NL 레이어"에 따릅니다. NL층이 GaN층인 경우 일정한 고온으로 가열하면 GaN이 Ga와 질소로 분해되어 질소가 방출되면서 자연스럽게 사파이어가 에피택셜층에서 분리됩니다.
따라서 요점은 NL 레이어가 GaN 레이어인지 아닌지입니다. (일부 제조업체에서는 AlN 소재로 NL 레이어를 사용하는데, 그렇다면 레이저 리프트 오프가 불가능합니다.)
그리고 NL 레이어가 GaN 소재임을 확인합니다.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2. we will polish the back side of PSS substrate, which is the same function as LED wafer on flat sapphire.

 

 

 

For more information, please contact us email at victorchan@powerwaywafer.com and powerwaymaterial@gmail.com

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