ゲルマニウム(ゲルマニウム)単結晶とウェーハ
- 説明
製品の説明
単結晶ゲルマニウムウエハ
PAM-XIAMEN は、2 インチ、3 インチ、4 インチ、および 6 インチのゲルマニウム ウェーハを提供しています。これは、VGF / LEC によって成長させた Ge ウェーハの略です。 低濃度ドープの N 型および P 型ゲルマニウム ウェーハは、ホール効果の実験にも使用できます。 結晶ゲルマニウムは室温では脆く、可塑性がほとんどありません。 ゲルマニウムは半導体の性質を持っています。高純度ゲルマニウム三価元素(インジウム、ガリウム、ホウ素など)をドープして P 型ゲルマニウム半導体を得る。 5価元素(アンチモン、ヒ素、リンなど)をドープしてN型ゲルマニウム半導体を得る。 ゲルマニウムは、高い電子移動度や高い正孔移動度など、優れた半導体特性を備えています。
1. ゲルマニウムウエハの性質
1.1 ゲルマニウムウエハーの一般的性質
一般プロパティの構造 | 立方晶系、a = 5.6754 Å | ||
密度:5.765グラム/ cm 3で | |||
融点: 937.4 ℃ | |||
熱伝導率:640 | |||
結晶成長技術 | チョクラルスキー | ||
利用可能ドーピング | / | Sbのドーピング | ドーピングやジョージア |
導電型 | N | N | P |
抵抗率は、ohm.cm | >35 | <0.05 | 0.05から0.1まで |
EPD | < 5×103/cm2 | < 5×103/cm2 | < 5×103/cm2 |
< 5×102/cm2 | < 5×102/cm2 | < 5×102/cm2 |
1.2 ゲルマニウムウエハーのグレードと用途
電子グレード | ダイオードやトランジスタのために使用されます、 |
赤外線またはopiticalグレード | IR光窓またはディスク、opiticalコンポーネントの使用 |
セルのグレード | 太陽電池の基板に使用される |
1.3 ゲルマニウム結晶およびウェーハの標準仕様
結晶方位 | <111>、<100>、<110> ± 0.5o またはカスタム方向 | |||
成長した結晶ブール | 1 "〜6"直径×200 mm長さ | |||
カットのような標準的な空白 | 1 "×0.5ミリメートル | 2 "x0.6mm | 4 "x0.7mm | 5 "&6」x0.8mm |
標準的な研磨されたウェハ(一/両面研磨) | 1 "×0.30ミリメートル | 2 "x0.5mm | 4 "x0.5mm | 5”&6”x0.6mm |
- リクエストに応じて特別なサイズと方向のウェーハも利用可能です
2. ゲルマニウムウエハの仕様
2.1 2”、3”、4”、6”サイズのゲルマニウムウエハーの仕様
アイテム | 仕様書 | 備考 |
成長方法 | VGF | — |
伝導型 | n型、p型 | |
ドーパント | ガリウムまたはアンチモン | — |
ウェハDiamter | 2、3,4&6 | インチ |
結晶方位 | (100)、(111)、(110) | — |
厚さ | 200〜550 | ええと |
の | EJまたは米国 | — |
キャリア濃度 | 顧客の要求に応じ | |
RTでの抵抗 | (〜80 0.001) | Ohm.cm |
エッチピット密度 | <5000 | / cm 2の |
レーザーマーキング | 要求に応じて | — |
表面仕上げ | P / EまたはP / P | — |
エピ準備 | はい | — |
パッケージ | シングルウエハ容器やカセット | — |
2.2 太陽電池用ゲルマニウムウエハー
4インチのGeウェハの仕様 | 太陽電池用 | - |
ドーピング | P | - |
ドーピング物質 | Ge-GA | - |
直径 | 100±0.25ミリメートル | - |
方向付け | <111>に向かってオフ(100)9°+/- 0.5 | |
オフ方位、傾斜角 | N / A | - |
プライマリオリエンテーションフラット | N / A | - |
プライマリフラット長 | 32±1 | ミリ |
二次オリエンテーションフラット | N / A | - |
セカンダリフラット長 | N / A | ミリメートル |
ccで | (0.26から2.24)E18 | / ccで |
抵抗率 | (0.74から2.81)E-2 | ohm.cm |
電子移動度 | 382-865 | 平方センチメートル/ VS |
EPD | <300 | / cm 2の |
レーザマーク | N / A | - |
厚さ | 175±10 | ミクロン |
TTV | <15 | ミクロン |
TIR | N / A | ミクロン |
弓 | <10 | ミクロン |
ワープ | <10 | ミクロン |
前面 | ポリッシュ | - |
バック顔 | 接地 | - |
2.3 Ge ウェーハ (ロングパス SWIR フィルターの光学フィルター基板として)
PAM180212-GE
アイテム | DSP Ge ウェーハ |
直径 | 4インチ |
厚さ | 1.50mm +/- 0.10mm |
方向付け | N / A |
導電率 | N / A |
抵抗率 | N / A |
表面処理 | 両面研磨。 最小直径90mm 中央のクリアアパーチャ |
その他のパラメータ | 60-40 スクラッチディグ以上 |
2 分角未満の平行度 | |
表面は光学的に平坦で、直径 25 mm あたり 1 縞以内の不規則性があります。 クリアな絞りの中で |
2.4 ゲルマニウムを薄型 FIR ウィンドウとして使用 (PAM211121-GE)
低プラズマ周波数、175μm+/-25umの4インチゲルマニウムウェハ。 (100)、片面研磨。
3. ゲルマニウムウエハープロセス
科学技術の進歩に伴い、ゲルマニウムウェーハメーカーの加工技術はますます成熟しています。 ゲルマニウムウェーハの製造では、残留物処理からの二酸化ゲルマニウムが塩素化および加水分解のステップでさらに精製されます。
1)高純度ゲルマニウムは、ゾーン精製の間に得られます。
2)ゲルマニウム結晶は、チョクラルスキー法により製造されます。
3)ゲルマニウムウェハは、複数の切削、研削、及びエッチング工程を経て製造されます。
4)ウェーハを洗浄および検査されます。 このプロセスの間に、ウェハは、カスタム要件に応じて研磨片面研磨または両面あり、エピレディウエハが来ます。
5) 薄いゲルマニウムウェーハは、窒素雰囲気下で枚葉容器に詰められます。
4. ゲルマニウムの応用:
ゲルマニウム空白またはウィンドウがナイトビジョンや商業セキュリティ、消防や産業用監視装置のためのサーモグラフィーイメージングソリューションで使用されています。 また、彼らは、分析・計測機器用フィルタ、リモート温度測定用窓、およびレーザー用ミラーとして使用されています。
薄いゲルマニウム基板は、III-V 三重接合太陽電池、電力集中型 PV (CPV) システム、およびロングパス SWIR フィルター用途の光学フィルター基板として使用されます。
5. ゲルマニウムウエハーのテスト:
結晶ゲルマニウムウェーハの抵抗率は四探針抵抗測定器により測定し、ゲルマニウムの表面粗さは粗面計により測定した。
リマーク:
中国政府は、2023年7月3日、半導体チップの製造に使用されるガリウム材料(GaAs、GaN、Ga2O3、GaP、InGaAs、GaSbなど)およびゲルマニウム材料の輸出に対する新たな制限を発表しました。これらの材料の輸出は、以下の場合にのみ許可されます。当社は中国商務省からライセンスを取得しています。 ご理解とご協力をお願いいたします。
詳細については、メールでお問い合わせください。victorchan@powerwaywafer.comとpowerwaymaterial@gmail.com。
ドープまたは非ドープのゲルマニウム (Ge) 結晶 | Ge単結晶育成