Ge(Germanium) Single Crystals and Wafers
- Description
説明
単結晶ゲルマニウムウエハ
PAM-XIAMEN は、2 インチ、3 インチ、4 インチ、および 6 インチのゲルマニウム ウェーハを提供しています。これは、VGF / LEC によって成長させた Ge ウェーハの略です。低濃度ドープの N 型および P 型ゲルマニウム ウェーハは、ホール効果の実験にも使用できます。結晶ゲルマニウムは室温では脆く、可塑性がほとんどありません。ゲルマニウムは半導体の性質を持っています。高純度ゲルマニウム三価元素(インジウム、ガリウム、ホウ素など)をドープして P 型ゲルマニウム半導体を得る。 5価元素(アンチモン、ヒ素、リンなど)をドープしてN型ゲルマニウム半導体を得る。ゲルマニウムは、高い電子移動度や高い正孔移動度など、優れた半導体特性を備えています。
1. ゲルマニウムウエハの性質
1.1 ゲルマニウムウエハーの一般的性質
| 一般的なプロパティの構造 | 立方晶系、a = 5.6754 Å | ||
| 密度: 5.765 g/cm3 | |||
| 融点: 937.4 ℃ | |||
| 熱伝導率: 640 | |||
| 結晶成長技術 | チョクラルスキー | ||
| ドーピングあり | / | Sbのドーピング | In または Ga のドーピング |
| 導電性タイプ | N | N | P |
| 抵抗率、ohm.cm | > 35 | <0.05 | 0.05から0.1まで |
| EPD | < 5×103/cm2 | < 5×103/cm2 | < 5×103/cm2 |
| < 5×102/cm2 | < 5×102/cm2 | < 5×102/cm2 | |
1.2 ゲルマニウムウエハーのグレードと用途
| 電子グレード | ダイオードやトランジスタに使用され、 |
| 赤外線または光学グレード | IR光学窓またはディスク、光学部品に使用 |
| セルのグレード | 太陽電池の基板に使用される |
1.3 ゲルマニウム結晶およびウェーハの標準仕様
| 結晶方位 | <111>、<100>、<110> ± 0.5o またはカスタム方向 | |||
| 成長したクリスタルブール | 直径1”~6”×長さ200mm | |||
| 標準ブランクカット品 | 1 "×0.5ミリメートル | 2 "x0.6mm | 4 "x0.7mm | 5”&6”x0.8mm |
| 標準研磨ウェーハ(片面・両面研磨) | 1インチ×0.30mm | 2 "x0.5mm | 4 "x0.5mm | 5”&6”x0.6mm |
- リクエストに応じて特別なサイズと方向のウェーハも利用可能です
2. ゲルマニウムウエハの仕様
2.1 2”、3”、4”、6”サイズのゲルマニウムウエハーの仕様
| アイテム | 仕様 | 備考 |
| 成長方法 | VGF | — |
| 伝導型 | n型、p型 | |
| ドーパント | ガリウムまたはアンチモン | — |
| ウェーハ直径 | 2、3,4&6 | インチ |
| 結晶方位 | (100)、(111)、(110) | — |
| 厚さ | 200〜550 | ええと |
| の | EJまたは米国 | — |
| キャリア濃度 | お客様からのお願い | |
| 室温での抵抗率 | (〜80 0.001) | Ohm.cm |
| エッチピット密度 | <5000 | / cm 2の |
| レーザーマーキング | 要求に応じて | — |
| 表面仕上げ | P / EまたはP / P | — |
| エピ準備 | はい | — |
| パッケージ | 枚葉式ウェーハコンテナまたはカセット | — |
2.2 太陽電池用ゲルマニウムウエハー
| 4インチGeウェハ仕様 | 太陽電池用 | - |
| ドーピング | P | - |
| ドーピング物質 | Ge-GA | - |
| 直径 | 100±0.25mm | - |
| オリエンテーション | (100) <111> に向かって 9° オフ +/-0.5 | |
| オフオリエンテーション傾斜角 | N / A | - |
| プライマリ フラット方向 | N / A | - |
| 一次平坦長さ | 32±1 | ミリ |
| セカンダリ フラット方向 | N / A | - |
| 二次平坦長さ | N / A | ミリメートル |
| ccで | (0.26-2.24)E18 | / ccで |
| 抵抗率 | (0.74-2.81)E-2 | ohm.cm |
| 電子移動度 | 382-865 | 平方センチメートル/ VS |
| EPD | <300 | / cm 2の |
| レーザマーク | N / A | - |
| 厚さ | 175±10 | ミクロン |
| TTV | <15 | ミクロン |
| TIR | N / A | ミクロン |
| 弓 | <10 | ミクロン |
| ワープ | <10 | ミクロン |
| 前面 | ポリッシュ | - |
| バック顔 | 接地 | - |
2.3 Ge ウェーハ (ロングパス SWIR フィルターの光学フィルター基板として)
PAM180212-GE
| アイテム | DSP Ge ウェーハ |
| 直径 | 4インチ |
| 厚さ | 1.50mm +/- 0.10mm |
| オリエンテーション | N / A |
| 導電率 | N / A |
| 抵抗率 | N / A |
| 表面処理 | 両面研磨。最小直径90mm中央のクリアアパーチャ |
| その他のパラメータ | 60-40 スクラッチディグ以上 |
| 2 分角未満の平行度 | |
| 表面は光学的に平坦で、直径 25 mm あたり 1 縞以内の不規則性があります。クリアな絞りの中で |
2.4 ゲルマニウムを薄型 FIR ウィンドウとして使用 (PAM211121-GE)
低プラズマ周波数、175μm+/-25umの4インチゲルマニウムウェハ。 (100)、片面研磨。
3. ゲルマニウムウエハープロセス
科学技術の進歩に伴い、ゲルマニウムウェーハメーカーの加工技術はますます成熟しています。ゲルマニウムウェーハの製造では、残留物処理からの二酸化ゲルマニウムが塩素化および加水分解のステップでさらに精製されます。
1)ゾーンリファイニングにより高純度のゲルマニウムが得られます。
2) ゲルマニウム結晶はチョクラルスキー法によって製造されます。
3) ゲルマニウムウェーハは、いくつかの切断、研削、エッチングのステップを経て製造されます。
4)ウェーハは洗浄され、検査されます。このプロセス中に、カスタム要件に従ってウェーハは片面研磨または両面研磨され、エピレディウェーハが提供されます。
5) 薄いゲルマニウムウェーハは、窒素雰囲気下で枚葉容器に詰められます。
4. ゲルマニウムの応用:
Germanium blank or window are used in night vision and thermographic imaging solutions for commercial security, fire fighting and industrial monitoring equipment. Also, they are used as filters for analytical and measuring equipment, windows for remote temperature measurement, and mirrors for lasers.
Thin Germanium substrates are used in III-V triple-junction solar cells and for power Concentrated PV (CPV) systems and as an optical filter substrate for a longpass SWIR filter application.
5. Test of Germanium Wafer:
The resistivity of the crystal germanium wafer was measured by Four Probe Resistance Tester, and the surface roughness of Germanium was measured by profilometer.
Remark:
The Chinese government has announced new limits on the exportation of Gallium materials (such as GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs, and GaSb) and Germanium materials used to make semiconductor chips on July 3, 2023. Exporting these materials is only allowed if we obtains a license from the Chinese Ministry of Commerce. Hope for your understanding and cooperation!
詳細については、メールでお問い合わせください。[email protected]と[email protected].
P Type Thin Germanium Wafer | Solar Cell
Doped or Undoped Germanium (Ge) Crystal | Ge Single Crystal Growth
Single Crystal Germanium Wafer with Orientation (110) toward<111>
Test Method for Dislocation Density of Monocrystal Germanium
